Flüssigvorläufer-Dampf-Zuführungssystem für die Atomlagenabscheidung (ALD), Edelstahl 304L, DOT-3E-1800, 150 cm³ Zylinder

Die kontrollierte Zufuhr von Gasphasendampf aus einer flüssigen Vorläufersubstanz ist für die Verfahren der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD), der metallorganischen chemischen Gasphasenabscheidung (MOCVD) und der Atomlagenabscheidung (ALD) erforderlich. Diese Gasflaschen zur Zufuhr von Flüssigdampf enthalten einen integrierten Bubbler, der den Vorläuferdampf in einem Puffergasstrom hält. Die Gasflaschen bestehen aus chemikalienbeständigem Edelstahl 316 und sind mit Vierteldreh-Kugelhähnen am Ein- und Auslass ausgestattet. Die Flasche ist für einen Druck von bis zu 1800 PSI (bei 37 °C) ausgelegt.

Der maximal zulässige Druck in Zylindern variiert mit der Temperatur. Zylinder dürfen nicht über ihre jeweiligen Temperaturgrenzen hinaus unter Druck gesetzt werden.

Die Durchflussrichtung ist auf jedem Ventil aufgedruckt. Wird das Puffergas in die richtige Richtung zum Abscheidungsprozess geleitet, bilden sich am Boden des Zylinders Blasen, die durch die Vorläuferflüssigkeit aufsteigen. Dies ermöglicht einen konstanten, gleichmäßigen Strom verdünnten Vorläuferdampfs im Puffergas, typischerweise Helium, Neon oder Argon. Diese Gasflaschen zur Zufuhr des flüssigen Vorläuferdampfs können beheizt oder gekühlt werden, um Dampfdruck und Konzentration des Vorläufers zu steuern. Dadurch lässt sich eine präzise Durchflusskonzentration erzeugen.

Die Ein- und Auslassventile sind ¼-Zoll-Swagelok®-Kugelhähne, die nicht für pyrophore Flüssigkeiten geeignet sind. Für ALD-Anwendungen mit hochentzündlichen pyrophoren Flüssigkeiten sind unsere Förderzylinder mit Membranventilen ausgestattet, um die Sicherheit zu erhöhen. Dadurch eignen sie sich für pyrophore Flüssigkeiten wie Trimethylaluminium (TMA), Triethylaluminium (TEA), Diethylzink (DEZn) und Trimethylgallium (TMGa).