NEU: MKS HPS® Serie 910 DualTrans™ Micropirani Absolut-Piezo-Wandler, KF25, RS485, DISPLAY, ohne Relais
Der DualTrans™ MicroPirani™/Absolute Piezo-Vakuumwandler MKS 910-21024 wurde speziell für Anwendungen mit einem breiten Druckmessbereich entwickelt und verfügt über einen ISO-KF-Flanschanschluss der Größe NW25. Der kombinierte Ausgang bietet eine deutlich höhere Genauigkeit, Stabilität und Wiederholgenauigkeit sowie eine schnellere Ansprechzeit als herkömmliche Wärmeleitfähigkeitssensoren. Der 910 vereint zwei Druckmesstechnologien und bietet so überlegene Leistung und Funktionalität. Er ermöglicht gasunabhängige Absolutdruckmessungen von 11 bis 1500 Torr mit höherer Genauigkeit als Wärmeleitfähigkeitssensoren. Anders als bei herkömmlichen Pirani-Sensoren besteht das Sensorelement im MicroPirani aus einem ein Millimeter großen Siliziumchip, wodurch Messungen in einem sehr kleinen Volumen möglich sind. Dank der MicroPirani-Technologie kann der 910 Drücke bis zu 10⁻⁵ Torr messen – zwei Größenordnungen unterhalb eines Standard-Pirani-Sensors. Die Sensorkonstruktion minimiert Konvektionseffekte, sodass der 910 in jeder beliebigen Ausrichtung montiert werden kann, ohne die Genauigkeit zu beeinträchtigen.
Der Piezo-Sensor ist ein Absolutdrucksensor, der einen direkten Druckmesswert liefert und somit gasunabhängig ist. Er misst Drücke von unter 1 Torr bis 1500 Torr. Das Modell 910 verfügt über eine digitale RS232-Schnittstelle zur Konfiguration der Messwandlerparameter und zur Echtzeit-Druckmessung. Zusätzlich bietet es einen analogen Druckausgang von 1 V DC/Dekade, der zur Druckanzeige oder -regelung an externe analoge Geräte angeschlossen werden kann. Weitere analoge Ausgänge und Kennlinien sind über die digitale Benutzeroberfläche auswählbar. Drei mechanische Relais des Modells 910 ermöglichen die Prozesssteuerung, beispielsweise die Verriegelung von Absperrventilen und Vakuumpumpen. Jeder Sollwert kann entweder der Piezo-Messung oder der kombinierten Absolutwertmessung (Mikro-Pirani/Piezo) zugeordnet werden. Dank seiner kompakten Bauweise benötigt das Vakuummeter 910 deutlich weniger Platz. Dies ist besonders für Systementwickler von Vorteil und ermöglicht kompaktere Vakuumsysteme. HINWEIS: Die vollständigen Spezifikationen finden Sie in der PDF-Datei im Downloadbereich.
