MKS Vakuumsensorkarte Kapazitätsmanometer und Piezo, für die Steuerungen der Serien 937B und 946.
MKS-Teilenummer: 20057714-001
Alte MKS-Teilenummer: 100015267 Die MKS Vakuumsensorkarte unterstützt kapazitive Manometer und Piezosensoren mit den Vakuumsystemsteuerungen 937B und 946.
Diese Karten werden in Steuergeräten verwendet, die Durchflussmessumformer steuern und deren Messwerte anzeigen. Der Sollwert für die Durchflussrate kann entweder über die Bedienelemente an der Vorderseite oder per Fernzugriff über die analoge Schnittstelle an der Rückseite eingestellt werden. Die Vakuumsystem-Steuergeräte 946 und 937B ermöglichen die gleichzeitige Anzeige und Steuerung von bis zu 6 Sensoren und Messgeräten.
