Absperrschieber der R-Serie von MKS ISO-F 100, DN100, pneumatisch, 24-V-DC-Magnetventil, zwei Positionsanzeigeschalter (Schließer), 4 Zoll Innendurchmesser, Viton-Dichtungen,
Verschraubter Flansch (M8 x 1,25), Edelstahlgehäuse. Diese Absperrschieber der R-Serie von MKS sind für die Isolierung von Vorvakuumpumpen und Vorvakuumleitungen sowohl in Halbleiter- als auch allgemeinen Vakuumanwendungen optimiert. Diese Absperrschieber der R-Serie eignen sich gut für Hochvakuumanwendungen (HV) bis zu 1x10
-7 Torr und verfügen über Optionen, einschließlich Pneumatik und Positionsanzeigen. Die R-Serie verwendet eine Elastomer-Wellendichtung für die Antriebsdichtung, die eine hohe Leistung in einem kostengünstigen, hochwertigen Paket für Grobvakuumanwendungen ermöglicht. Diese Auflistung gilt für die ISO-100-Version mit verschraubtem Vakuumflansch und pneumatischem Luftantrieb, einschließlich eines 24-V-Gleichstrom-Magnetventils und zwei Positionsanzeigeschaltern (normalerweise offen).
Produktmerkmale:
- Die hervorragende Temperaturgleichmäßigkeit sorgt dafür, dass auf den Innenflächen keine kalten Stellen entstehen
- DN80 und DN100 > 200.000 Zyklen
- DN160 > 100.000 Zyklen
- Verfügbare Größen DN80, DN100 und DN160 mm
Produkt Konfiguration:
- Ventilbohrung/Flanschgröße: DN100
- Materialien: Edelstahl
- Betätigung: Pneumatisch
- Dichtungsmaterialien: Viton/FKM
- Endschalter: Beide Schalter normalerweise offen (N/O)
- Magnetischer Reed-Schalter: Nennstrom < 80 mA
- Magnetventile: 24 VDC
- Heizoptionen: Aufheizbar bis 105 °C
- Druckbereich (Hochvakuum HV): 1x10-7 bis 1200 Torr (1,3* 10-10 - 1,6 bar)
- Pneumatikdruck: 5,4 ±1,3 atm (80 ±20 psig)
- Antriebsdichtung: Elastomer-Wellendichtung – Viton
- Seitliche Leckrate: 1x10-9 atm*cc/s
- Externe Leckrate: 1x10-9 atm*cc/s
- Max. Delta-Druck – Betrieb: 22,5 Torr (30 mbar) kammerseitig hoch
- Max. Delta-Druck – geschlossen: 1,6 atm, in beide Richtungen
