Diese kleinen pneumatischen Inline-Balgventile der Baureihe Ideal Vacuum Super-Seal verfügen über KF-25-Ein- und Auslassanschlüsse. Sie sind primär für den Einsatz im Hochvakuumbereich ( ^10⁻⁸ Torr) mit Leckraten von ^10⁻⁹ Torr l/s (He) ausgelegt, können aber auch bei Überdrücken bis zu 60–80 psi verwendet werden. Die Ventile bestehen aus einem Ventilkörper und -mechanismus aus Edelstahl 304L, einem Aluminium-Stellglied und Viton-Balgdichtungen mit O-Ring-Abdichtung. Super-Seal-Ventile sind bis 100 °C ausheizbar (nur Ventilkörper). Die Ventile können in jeder Einbaulage montiert werden.

Diese kleinen Super-Seal-Ventile benötigen Druckluft zum Öffnen und verfügen über einen Federmechanismus. Sie benötigen geringe Mengen trockener Druckluft im Bereich von 60 bis 80 psi. Da sie sich automatisch schließen, eignen sie sich als Sicherheitsventile und gewährleisten den Erhalt des Kammervakuums bei Strom- oder Druckluftausfall.

Der Luftstrom zum Öffnen des Ventils wird durch ein einfachwirkendes, elektrisch betätigtes Magnetventil gesteuert. Es stehen vier verschiedene Magnetventilspannungen zur Auswahl: 12 V DC, 24 V DC, 110 V AC und 220 V AC.

Für Super-Seal-Ventile sind drei Positionsanzeigesensoren erhältlich: ein mechanischer Reed-Schalter und zwei Transistortypen (NPN und PNP). Jeder Sensor verfügt über eine LED, die den Ventilzustand (offen oder geschlossen) optisch anzeigt. Diese Sensoren können auch zum Schalten oder Ansteuern von Hilfsgeräten verwendet werden.

Die Super-Seal-Ventilfamilie umfasst Optionen für schweißbare Rohre, KF-, ISO-K- und Conflat (CF)-Flansche, von 3/4" OD Rohr (KF-16) bis 10" OD Rohr (ISO-K 250), und viele sind als rechtwinklige (90°) und Inline-Versionen erhältlich.

Diese Ventile bieten ein hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis und sind äußerst zuverlässig, wodurch sie sich für Anwendungen wie die Halbleiterfertigung, die Plasmaphysikforschung und Kernbeschleuniger eignen. Sie sind eine Hauptkomponente in der Vakuumprozessautomatisierung und weisen eine mittlere Betriebsdauer bis zum Ausfall (MTTF) von über einer Million Zyklen auf.

Magnetventile und Positionsanzeigesensoren werden separat verkauft.

Die technischen Spezifikationen finden Sie weiter unten. Laden Sie sich das Benutzerhandbuch herunter, um vollständige Informationen über die Ideal Vacuum Super-Seal-Familie von pneumatischen Balgventilen und Zubehör zu erhalten.