MKS 937B Massendurchflussreglerkarte für Regler der Serie 946 und Dual-Massendurchflussregler.
MKS Teilenummer: 20000712. Die Massenstromreglerkarte MKS 937B ist mit den Massenstromreglern 946 und Dual-Massenstromreglern kompatibel.
Diese Karten werden in Steuergeräten verwendet, die Durchflussmessumformer steuern und deren Messwerte anzeigen. Der Sollwert für die Durchflussrate kann entweder über die Bedienelemente an der Vorderseite oder per Fernzugriff über die analoge Schnittstelle an der Rückseite eingestellt werden. Die Vakuumsystem-Steuergeräte der Serie 946 ermöglichen die gleichzeitige Anzeige und Steuerung von bis zu 6 Sensoren und Messgeräten.
