MKS Granville-Phillips 355 Mikro-Ionen-ATM-Modul-Vakuumdruckwandler, digitale Torr-Anzeige, DeviceNet, Yttriumoxid-beschichteter Iridiumfaden, 2,75-Zoll-CF-Einlass
Druckmessung von 1 × 10⁻⁹ Torr bis Atmosphäre
Das MKS Granville-Phillips 355 Mikro-Ionen-ATM-Modul kombiniert bewährte Mikro-Ionen-Ionisationsmanometer-Technologie mit einem miniaturisierten Conductron-Wärmeverlustsensor und ermöglicht so eine präzise und kontinuierliche Druckmessung vom Hochvakuum bis zum Atmosphärendruck. Dank seiner Membransensoren liefert dieses Produkt genaue Absolutdrücke bis zum Atmosphärendruck und zeigt gleichzeitig präzise die Differenz zwischen Vakuumkammerdruck und Umgebungsdruck an. Die einzigartige Sensorkonstruktion eliminiert thermische Effekte, die die Leistung des Wärmeverlustsensors bei höheren Drücken beeinträchtigen könnten.
Dieses kleine Modul vereint alle vier Sensoren und die Steuerelektronik in einem kompakten, modularen Design. Dadurch reduziert sich die Anzahl der benötigten Messgeräte in einer Kammer, und der Platzbedarf wird minimiert. Die Druckmessung über den gesamten Messbereich erfolgt über eine digitale DeviceNet-Schnittstelle. Diese DeviceNet-Version bietet konfigurierbare Sollwerte für die Prozesssteuerung, sodass die Relais bei jedem Druck im Vakuumbereich oder bei einem bestimmten Differenzdruckwert angesteuert werden können.
Zu den Vorteilen gehören:- Kontinuierliche Druckmessung vom Hochvakuum 1 × 10 -9 Torr bis zur Atmosphäre.
- Präzisionsdifferenzdruckmessung bei Atmosphärendruck.
- Erübrigt sich der Einsatz diskreter atmosphärischer Schalter.
- Dadurch entfällt die Notwendigkeit von drei separaten Sensoren.
- Mit Yttrium beschichtete Iridium-Ionisationsmanometer-Filamente erhöhen die Geräteverfügbarkeit.
- Automatische Aktivierung und Deaktivierung von Ionisationsmessgeräten.
- Konfigurierbare Sollwertrelais für die Prozesssteuerung.
- Vor Ort austauschbare Messinstrumenteneinheit.
- DeviceNet-Digitalausgang.
Modulare Vakuummeter sind die ideale Lösung für Anwendungen, die keine Frontplattenanzeigen und Bedienelemente benötigen. Diese kompakten, praktischen, zuverlässigen und kostensparenden Module verfügen über eine direkt auf dem Messgerät montierte Steuerelektronik. Das Ganzmetallgehäuse bietet ein robustes Gehäuse und eine hohe Immunität gegen elektrische Störungen.
Mini-Convectron-Module nutzen modernste Elektronik zur Ansteuerung des Granville-
Phillips® Convectron®
- Manometers. Das Convectron-Manometer hat sich als Industriestandard etabliert. Es handelt sich um eine spezielle Variante von Wärmeleitfähigkeitsmanometern, bei der die Druckmessung auf der Wärmeverlustrate eines Sensordrahts basiert. Im Gegensatz zu herkömmlichen Thermoelement- und Pirani-Manometern, die ausschließlich auf Wärmeleitung beruhen, nutzen Convectron-Manometer bei höheren Drücken zusätzlich die Wärmeverluste durch Konvektion. Dadurch wird der Messbereich für präzise und reproduzierbare Druckmessungen bis hin zum Atmosphärendruck erweitert.
