Pfeiffer HiPace 80 NEO Turbopumpe DN 63 ISO-K 63 Einlass und HiScroll 6 Vorvakuum-Trocken-Scrollpumpe, Paketangebot mit TC 80 Antriebseinheit OmniControl 200 und Luftkühlungssatz. Dieses Turbopumpen-Paketpaket Pfeiffer HiPace 80 NEO mit DN63 ISO-K-Einlassflansch umfasst eine trockene Vorvakuumpumpe Pfeiffer HiScroll 6. Diese HiPace 80 NEO hat ein Saugvermögen von 67 l/s und einen Enddruck von 7,5 x 10
-8 Torr. Die Pumpe verfügt über eine integrierte elektronische Pumpenantriebseinheit TC 80. Dieses Paket umfasst eine Display-Steuereinheit und ein Netzteil OmniControl 200 mit großem LED-Display (einschließlich Netzkabel). OmniControl 200 versorgt die Pumpe mit Strom, kommuniziert mit ihr und steuert sie über ein mitgeliefertes 3 Meter langes Controller-Verbindungskabel (Teilenummer P103335) mit integrierten M8-Anschlüssen für Zubehör und einem M12-Stecker zum Anschluss des mitgelieferten RS485-Kommunikationskabels (Teilenummer P1012287). Dieses Angebot umfasst auch eine Radial-Luftkühlungseinheit, die in einen der M8-Anschlüsse am Controller-Verbindungskabel eingesteckt und von der Pumpe mit Strom versorgt wird. Zum Schutz der Pumpe vor Schmutz ist ein Splitterschutz mit feinmaschigem (0,8 mm) Sieb ebenfalls im Lieferumfang enthalten. Dieses Turbopumpen-Paket beinhaltet eine Vorvakuumpumpe, jedoch keine Vorvakuumleitungen, Vakuumkammer, Druckmessgeräte und Ventile. Mögliche Upgrades sind ein Wasserkühlungs-Kit, Magnetventile zur Entlüftung oder Sperrgas-Spülventile. Alle diese Artikel sind separat bei Ideal Vacuum erhältlich.
Über die Turbopumpe HiPace 80 mit DN63 ISO-K-Flansch Pfeiffer HiPace 80 NEO Turbomolekular-Hochvakuumpumpen mit DN63 ISO-K-Einlassflansch und KF-16-Auslassflansch haben eine Pumpgeschwindigkeit von 67 Litern pro Sekunde (l/s) und einen Enddruck von 7,5 x 10-8 Torr. Die Pumpe kann in jeder Ausrichtung montiert werden. 24 VDC Eingangsleistung bei maximal 110 Watt sind erforderlich. Diese Pfeiffer HiPace 80 Pumpe wird mit einer integrierten TC 80 Antriebseinheit geliefert, die seitlich an der Pumpe montiert ist und einen einzelnen X3-Stecker (15-poliger D-Sub) zur Stromversorgung der Pumpe, RS485-Kommunikation und M8-Zubehöranschlüsse (zur Steuerung eines Luftkühlungslüfters oder eines Magnetentlüftungsventils) hat. Diese HiPace 80 NEO Turbopumpe mit ISO-K 63-Einlass und TC 80 Antriebseinheit hat die Pfeiffer-Teilenummer: PM P080 301 10.
Über die trockene Spiral-Vorvakuumpumpe HiScroll 6 Diese trockene Spiral-Vor-/Unterdruckpumpe HiScroll 6 von Pfeiffer hat eine Pumpgeschwindigkeit von 6,1 m3/h (3,6 cfm) und ein Endvakuum von 2 x 10-2 mbar (1,5 x 10-2 Torr). Sie verfügt über KF-25 (NW25) Ein- und Auslassanschlüsse. Erforderlich ist ein einphasiger Eingang mit 100–240 V Wechselstrom, 50/60 Hz. Das Netzkabel ist im Lieferumfang enthalten. Die HiScroll 6-Pumpe verbraucht 4 A bei 120 V Wechselstrom (2 A bei 240 V Wechselstrom) und ist mit 48 dB(A) extrem leise. Diese HiScroll-Pumpe verfügt über einen internen Motorschutz und einen integrierten zweistufigen Gasballast, der das Pumpen von kondensierbaren Dämpfen wie Wasser, Lösungsmitteln, verdünnten Säuren und Basen ermöglicht. Der maximale Ballastdruck für trockene Luft oder Inertgase beträgt 1500 hPa (21,7 psi). Die Pumpe verfügt über einen integrierten Inverterregler, der die Steuerung der Pumpe entweder manuell über benutzerfreundliche Drucktasten oder per RS485-Schnittstelle bei Anschluss an einen Pfeiffer TC 80- oder OmniControl-Regler oder eine benutzerseitig bereitgestellte Softwareschnittstelle ermöglicht. Der Pumpenregler verfügt über einen Standby-Modus und reduziert im aktivierten Zustand die Drehzahl der Pumpe auf 50 % der Volldrehzahl, um Verschleiß an den Spitzendichtungen zu vermeiden und die Lagerlebensdauer zu verlängern. Diese Pfeiffer HiScroll 6-Trockenscrollpumpe hat die Teilenummer PD S10 000.
Über die Antriebssteuerung OmniControl 200 Der Turbopumpen-Controller OmniControl 200 von Pfeiffer kann auf einem Tisch oder in einem Rack montiert werden und ist für den Betrieb der Turbopumpen HiPace 80 NEO und HiPace 300H von Pfeiffer mit integriertem TC 80-Antrieb ausgelegt. OmniControl 200 liefert 24 VDC bei maximal 200 Watt an den elektronischen Antrieb TC 80, der dann die Pumpe mit Strom versorgt. Das erforderliche Verbindungskabel zwischen OmniControl 200 und TC 80 ist im Lieferumfang enthalten. Das Verbindungskabel versorgt nicht nur die Pumpe mit Strom, sondern hat auch M8-Anschlüsse zum Anschluss des mitgelieferten Radiallüfters und/oder eines Sperrgasventils. Die Eingangsspannung von OmniControl 200 beträgt 115/230 VAC und ein Standard-115-VAC-Stromkabel ist im Lieferumfang enthalten. Diese Display-Steuereinheit und Stromversorgung für die Turbopumpe OmniControl 200 hat die Pfeiffer-Teilenummer PE D50 100 0.
Über die Radial-Luftkühlungseinheit Dieser Pfeiffer-Luftkühlungslüfter wird seitlich an HiPace 80 NEO-Turbopumpen montiert und sorgt für einen senkrecht zur Pumpe verlaufenden Luftstrom. Der Luftkühlungslüfter wird an einen der Zubehöranschlüsse des TC 80-zu-OmniControl-Kabels angeschlossen. Der Luftkühlungslüfter läuft immer, wenn die Pumpe eingeschaltet ist. Dieser Radial-Luftkühlungslüfter hat die Pfeiffer-Teilenummer PM Z01 300 AT.
Zu den Anwendungen für dieses Paketangebot gehören:- Massenspektrometrie
- Gaschromatographie-Massenspektrometrie (GC/MS)
- Flüssigchromatographie-Massenspektrometrie (LC/MS)
- Induktiv gekoppelte Plasma-Massenspektrometrie (ICP-MS)
- Flugzeit-Massenspektrometrie (TOF)
Vakuum in Forschung und Entwicklung:- Hochenergiephysik
- Fusionstechnologie
- Allgemeine UHV-Forschung
- Synchrotronlichtquellen Teilchenbeschleuniger
Nanotechnologie-Instrumente:- Elektronenmikroskopie
- Rasterelektronenmikroskopie (REM)
- Transmissionselektronenmikroskopie (TEM)
- Fokussierte Ionenstrahlsysteme (FIB)
- Oberflächenanalyse
- Halbleiterfertigung
Industrielle Vakuumverarbeitung:- Dünnschichtabscheidung:
- Glasbeschichtungsanlagen (Architektur- und Automobilglas, Flachbildschirme)
- Produktion von Dünnschicht-Solarzellen (Photovoltaik)
- Optische Datenträger (CD, DVD, Magneto Optical Disc)
- Magnetische Speichermedien
- Oberflächenbehandlungen
- Optische Beschichtung (ophthalmisch, Präzisions-Optoelektronik)
- Rollen-/Bahnbeschichtung auf Filmen oder Folien
Geräteverarbeitung:- Herstellung von TV- und Monitor-Bildröhren
- Evakuierung von Lampen (Autobahnbeleuchtung, Beamer)
- Röntgenröhren und Elektronengeräte
Allgemeine Prozesse: Dieses Paketangebot ist als Bausatz in unserem Bestand vorhanden und besteht aus vielen Einzelteilen. Jedes Teil ist im Abschnitt
„Verfügbarkeit der Bausatzkomponenten“ unten aufgeführt. Die Bedienungsanleitungen finden Sie in den Downloads.