Der absolute Piezo-Druckwandler HPS® Serie 902 kombiniert die Druckmesstechnik eines MEMS-basierten Piezosensors mit integrierter Elektronik. Der 902 ermöglicht eine wirtschaftliche, absolute und gasunabhängige Messung. Mit einem Messbereich von 0,1 bis 1.000 Torr Vollausschlag eignet sich der Sensor ideal für Anwendungen wie die Halbleiterfertigung, Dünnschichtbeschichtung, Gefriertrocknung, Lampen- und Glühbirnenproduktion, Medizintechnik, Automobil- und Luftfahrtindustrie. Kunden, die sowohl eine Stromversorgung als auch ein Display benötigen, können den 902 mit dem auf dieser Website erhältlichen Controller der PDR900-Serie verwenden.
Die vollständigen technischen Daten und Bedienungshinweise finden Sie im Downloadbereich.
Spezifikationen und Preise können sich ohne vorherige Ankündigung ändern. HPS® und MicroPirani™ sind eingetragene Warenzeichen der MKS Instruments, Inc.
