Diese pneumatischen 90°-Winkelventile der Baureihe Ideal Vacuum Super-Seal verfügen über CF 4-5/8"-Ein- und Auslassanschlüsse mit drehbaren Flanschen und Durchgangsbohrungen. Sie sind primär für den Einsatz im Ultrahochvakuumbereich ( ^10⁻¹⁰ Torr) mit Leckraten von ^10⁻¹¹ Torr l/s (He) ausgelegt und können bis zu einem Überdruck von 15 psi eingesetzt werden. Die Ventile bestehen aus einem Ventilkörper und -mechanismus aus Edelstahl 304L, einem Aluminium-Stellglied und Kupfer-Dichtungen. Super-Seal-Ventile sind bis 100 °C ausheizbar (nur Ventilkörper). Die Ventile können in jeder Einbaulage montiert werden.

Diese mittelgroßen Super-Seal-Ventile benötigen Druckluft zum Öffnen und Schließen. Sie verfügen über keine Rückstellfeder und schließen daher nicht automatisch. Es wird eine geringe Menge trockener Druckluft im Bereich von 60–80 psi benötigt. Da sie keine automatische Rückstellfeder besitzen, können sie bei Strom- oder Druckluftausfall keinen Schutz vor Vakuum in der Kammer gewährleisten.

Der Luftstrom zum Öffnen und Schließen des Ventils wird durch ein (mittelstarkes), doppeltwirkendes, elektrisch betätigtes Magnetventil gesteuert. Es stehen vier verschiedene Magnetspannungen zur Auswahl: 12 V DC, 24 V DC, 110 V AC und 220 V AC.

Für Super-Seal-Ventile sind drei Positionsanzeigesensoren erhältlich: ein mechanischer Reed-Schalter und zwei Transistortypen (NPN und PNP). Jeder Sensor verfügt über eine LED, die den Ventilzustand (offen oder geschlossen) optisch anzeigt. Diese Sensoren können auch zum Schalten oder Ansteuern von Hilfsgeräten verwendet werden.

Die Super-Seal-Ventilfamilie umfasst Optionen für schweißbare Rohre, KF-, ISO-K- und Conflat (CF)-Flansche, von 3/4" OD Rohr (KF-16) bis 10" OD Rohr (ISO-K 250), und viele sind als rechtwinklige (90°) und Inline-Versionen erhältlich.

Diese Ventile bieten ein hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis und sind äußerst zuverlässig, wodurch sie sich für Anwendungen wie die Halbleiterfertigung, die Plasmaphysikforschung und Kernbeschleuniger eignen. Sie sind eine Hauptkomponente in der Vakuumprozessautomatisierung und weisen eine mittlere Betriebsdauer bis zum Ausfall (MTTF) von über einer Million Zyklen auf.

Magnetventile und Positionsanzeigesensoren werden separat verkauft.

Die technischen Spezifikationen finden Sie weiter unten. Laden Sie sich das Benutzerhandbuch herunter, um vollständige Informationen über die Ideal Vacuum Super-Seal-Familie von pneumatischen Balgventilen und Zubehör zu erhalten.