Transductor de presión de vacío modular MKS Granville-Phillips 355 Micro-Ion ATM, pantalla digital con lectura en Torr, DeviceNet, filamento de iridio recubierto de itria, entrada CF de 2,75 pulgadas.
Medición de presión desde 1 × 10 -9 Torr hasta la atmósfera.
El módulo MKS Granville-Phillips 355 Micro-Ion ATM combina la probada tecnología de manómetros de ionización Micro-Ion con un sensor de pérdida de calor Conductron en miniatura para proporcionar una medición de presión precisa y continua, desde alto vacío hasta presión atmosférica. Gracias a sus sensores de diafragma, este producto es capaz de proporcionar una presión absoluta precisa hasta la presión atmosférica, junto con una indicación precisa de la presión diferencial de la cámara de vacío con respecto al ambiente. El diseño exclusivo del sensor elimina los efectos térmicos que pueden influir en el rendimiento del sensor de pérdida de calor a presiones elevadas.
Este pequeño módulo integra los cuatro sensores y la electrónica de control en un diseño modular compacto, reduciendo la cantidad de manómetros necesarios en la cámara y minimizando el espacio de instalación. La medición de presión de rango completo se realiza mediante una interfaz digital DeviceNet. Esta versión DeviceNet incluye puntos de ajuste configurables para el control del proceso, lo que permite asignar los relés a cualquier presión dentro del rango de presión de vacío o a un valor de presión diferencial específico.
Los beneficios incluyen:- Medición continua de la presión desde un alto vacío de 1 × 10⁻⁹ Torr hasta la presión atmosférica.
- Medición de presión diferencial de precisión a presión atmosférica.
- Elimina la necesidad de interruptores atmosféricos independientes.
- Elimina la necesidad de tres sensores separados.
- El filamento de ionización de iridio recubierto de itria para el medidor aumenta el tiempo de funcionamiento del equipo.
- Activación y desactivación automática del medidor de ionización.
- Relés de punto de consigna configurables para el control de procesos.
- Conjunto de manómetro reemplazable en campo.
- Salida digital DeviceNet.
Los manómetros de vacío modulares son la solución ideal para aplicaciones que no requieren pantallas ni controles en el panel frontal. Estos módulos compactos, prácticos, fiables y económicos incorporan la electrónica de control directamente en el manómetro. Su carcasa totalmente metálica ofrece una gran resistencia y una alta inmunidad al ruido eléctrico.
Los módulos Mini-Convectron utilizan la tecnología electrónica más avanzada para el funcionamiento del manómetro Granville-
Phillips® Convectron® . El manómetro Convectron se ha convertido en un estándar de la industria. Se trata de una variante única de los manómetros de conductividad térmica, donde la medición de la presión se basa en la tasa de pérdida de calor de un cable sensor. A diferencia de los manómetros tradicionales de termopar y Pirani, que solo se basan en la pérdida de calor por conducción, los manómetros Convectron también aprovechan la pérdida de calor por convección a presiones más altas. Esto amplía el rango de medición de presión, precisa y repetible, hasta la presión atmosférica.