El transductor piezoeléctrico absoluto HPS® Serie 902 combina la tecnología de medición de presión de un sensor piezoeléctrico MEMS con electrónica integrada. El 902 proporciona una medición absoluta y económica, independiente del tipo de gas. Con un rango de medición de 0,1 a 1000 Torr a escala completa, el sensor es ideal para aplicaciones como la fabricación de semiconductores, recubrimientos de película delgada, liofilización, producción de lámparas y bombillas, dispositivos médicos, automoción y aeroespacial. Los clientes que requieran tanto una fuente de alimentación como una pantalla pueden utilizar el 902 con el controlador de la Serie PDR900, disponible en este sitio web.
Para obtener las especificaciones completas y la información de funcionamiento, consulte la sección de Descargas.
Las especificaciones y los precios están sujetos a cambios sin previo aviso. HPS® y MicroPirani™ son marcas registradas de MKS Instruments, Inc.
