Controlador de flujo másico (MFC) MKS GM50A, controlado analógicamente, rango de 4 a 200 sccm, conector D-subminiatura de 15 pines, 4 VCR® macho.
Número de pieza MKS: GM50A013202RMM020. Este controlador de flujo másico MKS GM50A está calibrado para N₂ o equivalente, con un rango de control de 4 a 200 sccm. Cuenta con un conector analógico D-subminiatura de 15 pines con conexión a tierra y señales de entrada y salida de flujo de 0-5 VCC. Las conexiones de entrada y salida de gas son Swagelok® 4 VCR® macho. El sello de la válvula es normalmente cerrado y está fabricado en Teflón™. Los tiempos de respuesta típicos son del orden de 500 milisegundos.
Swagelok®, VCR-TM Swagelok® Company
Teflon-TM The Chemours Company FC, LLC. Swagelok® y VCR® son marcas registradas de Swagelok Company. Vac Goop™ es una marca comercial de Swagelok Company. Ideal Vacuum Products no es un distribuidor autorizado de Swagelok Company.
