Válvula de control de flujo de uso general MKS 248D, 10000 sccm, conexión de tubo Swagelok® de 1/4 pulg., juntas de Viton.

Cuando se le suministra una corriente de control, esta válvula solenoide modificada de uso general modula el flujo de gas. Cuando se utiliza con un controlador MKS y un sensor de flujo adecuado, la válvula 248D modula el flujo de gas manteniendo una presión o un flujo precisos y exactos. Las aplicaciones incluyen control de flujo, control de presión aguas arriba o aguas abajo. Esta válvula modelo 0248D-10000SV cuenta con un rango de escala completa de 10000 centímetros cúbicos estándar por minuto (sccm) de nitrógeno, conexiones de tubo Swagelok® de 1/4 pulg. y juntas de Viton. La conductancia de fuga a través de la válvula cerrada es <1x10 ^-5 scc/seg He.