Contrôleur de débit massique MKS GM50A (MFC) à commande analogique, plage de 10 à 500 sccm, connecteur D-subminiature à 15 broches, 4 VCR® mâle.
Numéro de pièce MKS : GM50A013502RMM020. Ce régulateur de débit massique MKS GM50A est calibré pour l'azote ( N₂) ou un gaz équivalent, avec une plage de régulation de 10 à 500 sccm. Il est équipé d'un connecteur analogique D-subminiature à 15 broches avec masses reliées et de signaux d'entrée/sortie de débit de 0 à 5 V CC. Les raccords d'entrée et de sortie de gaz sont de type Swagelok® 4 VCR® mâle. Le joint de la vanne est normalement fermé et en Teflon™. Le temps de réponse typique est de l'ordre de 500 millisecondes.
Swagelok®, VCR-MC Société Swagelok®
Teflon-MC La société Chemours FC, LLC. Swagelok® et VCR® sont des marques déposées de Swagelok Company. Vac Goop™ est une marque de Swagelok Company. Ideal Vacuum Products n'est pas un distributeur agréé de Swagelok Company.
