MKS HPS 910 DualTrans Micropirani Transducteur piézo absolu KF16 RS232, 10-5 à 1500 Torr

Le HPS® série 910 est un transducteur à double capteur, combinant la technologie de mesure de pression de Pirani et Piezo avec un circuit de contrôle électronique intégré. La plage de mesure du transducteur est de 10-5 à 1 500 Torr. Le Piezo est un capteur de pression absolue à lecture directe, permettant à la mesure d'être indépendante du gaz. Le capteur comprend une compensation de température unique, permettant une grande précision sur une large plage de mesure. Le Piezo mesurera de 10-1 à 1 500 Torr. Le MicroPirani exécute une fonction de zéro automatique sur le Piezo lorsque la pression est inférieure à 10-2 Torr. Contrairement aux jauges Pirani traditionnelles, l'élément du MicroPirani™ est constitué d'une puce de silicium carrée d'un millimètre, ce qui permet d'effectuer les mesures dans un très petit volume. Un capteur Pirani traditionnel a une plage de mesure de 10-3 à environ 100 Torr, perdant rapidement sa sensibilité au-dessus de 10 Torr. Parce que la taille de la partie de détection du MicroPirani™ est si petite, elle a une plage allant jusqu'à 10-5 Torr. La conception minimise les effets de la convection, de sorte que le fonctionnement est possible dans n'importe quelle position sans compromettre la précision, pour une installation simplifiée. Le transducteur comprend une commande de zéro à bouton-poussoir qui peut être utilisée lorsque la pression est inférieure à 10-5 Torr.

La communication numérique de la série 910 permet de fournir tous les réglages et la surveillance en temps réel, via un ordinateur hôte. Le 910 inclut la communication RS485 ou RS232 en standard. La série 910 fournit un signal de sortie analogique de 1 à 9 volts CC au connecteur mâle D-sub haute densité à 15 broches. La sortie du transducteur est lissée entre les deux capteurs et lit les deux capteurs dans la plage de 5 à 15 Torr. Pour le contrôle de processus, le 910 dispose de trois points de consigne de relais indépendants. Les caractéristiques des points de consigne peuvent être définies, ajustées et surveillées via le port numérique. Comme tous les capteurs de conductivité thermique, le MicroPiraniTM est sensible au type gaz. Le Piezo mesure indépendamment du type de gaz. Le 910 fournit une sortie de détection de fuite numérique qui mesure la lecture différentielle entre le Piezo et le MicroPirani™. Cela en fait une solution simple pour localiser les fuites moyennes à fines dans les systèmes de vide. Les clients nécessitant à la fois une alimentation et un écran peuvent utiliser le 910 DualTrans avec le contrôleur de la série PDR900 vendu sur ce site Web. Pour des spécifications complètes et des informations sur le fonctionnement, voir les téléchargements disponibles ci-dessous.