Transducteur de pression à vide modulaire MKS Granville Phillips 355 Micro-Ion ATM, affichage numérique, DeviceNet, filament d'iridium revêtu d'yttria, 2,75 CF

Le module MKS Granville-Phillips 355 Micro-Ion ATM associe la technologie éprouvée des jauges à ionisation Micro-Ion à un capteur de perte de chaleur miniature Conductron pour une mesure de pression précise et continue, du vide poussé à la pression atmosphérique. Grâce à ses capteurs à membrane, ce produit fournit une pression absolue précise jusqu'à la pression atmosphérique, ainsi qu'une indication précise de la pression différentielle de la chambre à vide par rapport à la pression ambiante. La conception unique du capteur élimine les effets thermiques susceptibles d'affecter ses performances à haute pression.

Ce petit module intègre les quatre capteurs et l'électronique de commande dans une conception modulaire compacte, réduisant ainsi le nombre de manomètres nécessaires dans une chambre et minimisant l'espace requis pour l'installation. La mesure de pression sur toute la plage est assurée par une interface numérique DeviceNet. Cette version DeviceNet inclut des points de consigne configurables pour la régulation de processus, permettant d'assigner les relais à n'importe quelle pression dans la plage de vide ou à une valeur de pression différentielle spécifique.

Les avantages comprennent :

• Mesure de pression en continu, du vide poussé à 1 × 10 ^-9 Torr jusqu'à l'atmosphère.
• Mesure de précision de la pression différentielle à pression atmosphérique.
• Élimine le besoin de commutateurs atmosphériques discrets.
• Élimine le besoin de trois capteurs distincts.
• Le filament de jauge à ionisation en iridium revêtu d'yttria augmente le temps de fonctionnement des équipements.
• Activation et désactivation automatiques du manomètre à ionisation.
• Relais de consigne configurables pour la régulation de processus.
• Ensemble de jauge remplaçable sur le terrain.
• Sortie numérique DeviceNet.

Les manomètres à vide modulaires constituent une solution idéale pour les applications ne nécessitant ni affichage ni commandes en façade. Compacts, pratiques, fiables et économiques, ces modules intègrent l'électronique de commande directement sur le manomètre. Leur boîtier entièrement métallique leur confère une grande robustesse et une excellente immunité aux perturbations électromagnétiques.

Les modules Mini-Convectron utilisent une technologie électronique de pointe pour faire fonctionner la jauge ^Convectron® de Granville- ^Phillips® . Devenue une référence dans l'industrie, la jauge Convectron® est une variante unique des jauges à conductivité thermique. La mesure de la pression repose sur le taux de dissipation thermique d'un fil capteur. Contrairement aux jauges à thermocouple et Pirani classiques, qui se basent uniquement sur la dissipation thermique par conduction, les jauges Convectron® exploitent également la dissipation thermique par convection à haute pression. Ceci permet d'obtenir des mesures de pression précises et répétables jusqu'à la pression atmosphérique.