Valvola di controllo del flusso per uso generale MKS 248D, 10000 sccm, raccordo per tubo Swagelok® da 1/4 di pollice, guarnizioni in Viton. Alimentata da una corrente di controllo, questa elettrovalvola modificata per uso generale modula il flusso di gas. Se utilizzata con un controller MKS e un sensore di flusso appropriato, la valvola 248D modula il flusso di gas mantenendo una pressione o un flusso accurati e precisi. Le applicazioni includono il controllo del flusso, il controllo della pressione a monte o a valle. Questo modello di valvola 0248D-10000SV è dotato di un fondo scala standard di 10000 centimetri cubi al minuto (sccm) di azoto, raccordi per tubi Swagelok® da 1/4 di pollice e guarnizioni in Viton. La conduttanza di perdita attraverso la valvola chiusa è < 1x10⁻⁵ scc/sec He.
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