アジレント・バリアン531熱電対真空圧力計シミュレーターおよび基準管

これは、Agilent Varian 531 熱電対ゲージシミュレーターおよび基準管です。2.0 Torr と 1 × ^10⁻³ Torr の両方の圧力をシミュレートします。基準管は、内部が 5 × ^10⁻⁶ Torr 以下の真空状態で永久的に密閉されています。

熱電対式真空圧力計
熱伝導率ゲージは、気体の熱伝導率が圧力とともに低下するという性質を利用しています。このタイプのゲージでは、フィラメントに電流を流すことで加熱します。その後、熱電対または抵抗温度検出器（RTD）を使用してフィラメントの温度を測定します。この温度は、フィラメントが周囲の気体に熱を放出する速度、つまり熱伝導率に依存します。一般的なバリエーションとして、加熱要素とRTDの両方に単一の白金フィラメントを使用するピラニゲージがあります。これらのゲージは、20 Torrから^10⁻³ Torrまでの精度を持ちます（購入するセンサーとコントローラーのモデルによって異なります）。ただし、測定対象の気体の化学組成に敏感であり、相対圧力測定法と呼ばれます。つまり、気体媒体の熱伝導率特性から間接的に圧力を決定します。