アジレント・バリアン563 ガラスイオンタングステンフィラメントゲージ 1インチ NONEXチューブ

これらのイオンゲージ管は、1インチのポート真空接続を備え、動作範囲は^1x10⁻³ ～ ^2x10⁻¹⁰ Torrです。これらのイオンゲージ管は、ほとんどの最新の熱陰極イオンゲージ管と互換性があります。感度はTorr⁻¹で、標準動作電圧（コレクタ0 VDC、グリッド+180 VDC、フィラメント+30 VDC、フィラメント電圧4 VAC）を備えています。高真空および超高真空領域では、白金シールドにより、外部電界が低イオン電流に影響を与えるのを防ぎます。生成されるイオンの数が大幅に増加する高圧領域では、白金導電性コーティングにより、ガラス管内部に蓄積される可能性のある静電荷が放電されます。したがって、563管は、管の全範囲にわたって優れた性能を発揮します。

弊社の交換用イオンゲージ管は、Granville Phillips、MKS Instruments、Perkin Elmer、Varian、Veeco製のほとんどの熱陰極イオンゲージコントローラに対応しています。Agilent Varian 563イオンゲージの取扱説明書は、下記の「ダウンロード可能なファイル」からPDFファイルをダウンロードしてください。

通常、以下の製品と連携します。

• グランビル・フィリップス社製モデル260、270、280、303、306、307、330、340、350、その他。
• MKS Instruments 290、919、929
• パーキンエルマー DGC3
• Varian 831、836、842、844、845、880、971-0003、971-0014、971-1008、マルチゲージ、Varian 572 チューブ K7360301
• Veeco RG2、RG3、RG21、RG31、RG81、RG83、RG84、RG830、RG840、RG1000、RG1002