原子層堆積（ALD）用液体前駆体蒸気供給シリンダーシステム、304Lステンレス鋼製、DOT-3E-1800 150cm³シリンダー

化学気相成長法（CVD）、有機金属化学気相成長法（MOCVD）、原子層堆積法（ALD）などのプロセスでは、液体前駆体からの気相蒸気の制御された供給が必要です。これらの液体蒸気ガス供給シリンダーには、前駆体蒸気を緩衝ガスの流れの中に保持するためのバブラーが内蔵されています。これらの蒸気供給シリンダーは、耐薬品性に優れた316ステンレス鋼製で、入口と排気口には1/4回転ボールバルブが備えられています。シリンダーは、37℃で最大1800 PSIの圧力に耐えるように設計されています。

シリンダーの最大圧力定格は温度によって異なります。それぞれの温度制限を超えてシリンダーに圧力をかけないでください。

各バルブには流れの方向が印字されており、バッファガスを成膜プロセスに向かって正しい方向に流すと、シリンダー底部に気泡が発生し、それが前駆体液の中を上昇します。これにより、通常はヘリウム、ネオン、またはアルゴンであるバッファガス中に、希釈された前駆体蒸気が一定かつ安定的に流れます。これらの液体前駆体蒸気供給ガスシリンダーは、蒸気圧と前駆体の濃度を制御するために、加熱式または冷却式にすることができます。これにより、正確な流量濃度を実現できます。

入口弁と出口弁は、1/4インチのSwagelok®継手ボールバルブですが、自然発火性液体には対応していません。引火性の高い自然発火性液体を用いたALD用途向けには、安全性を向上させるため、当社の供給シリンダーにダイヤフラムバルブを装備し、トリメチルアルミニウム（TMA）、トリエチルアルミニウム（TEA）、ジエチル亜鉛（DEZn）、トリメチルガリウム（TMGa）などの自然発火性液体に対応できるように改良しています。