アジレント・バリアン VHS-10 および VHS-400 拡散真空ポンプ用オイルドレンプラグ交換部品。アジレント・バリアン部品番号：L9173001。これは交換用オイルドレンプラグです。アジレント・バリアン VHS-10 および VHS-400 拡散ポンプに適合します。オイルドレンプラグの位置については、下の図 #7 (分解図および部品図) を参照してください。

アジレント・バリアン VHS-250 拡散ポンプ Oリングキット。アジレント・バリアン PN K0377184 これはアジレント・バリアン VHS-250 拡散ポンプ Oリングキットです。Oリングキットの内容: ブチルインレットフランジ Oリング 3個 (パーカー No. 2-267) 3-ブチル-N フォアラインフランジ Oリング (パーカー No. 2-332) バイトン充填およびドレン Oリング (旧型) 10個 (パーカー No. 2-112) バイトン充填およびドレン Oリング (新型) 10個 (パーカー No. 2-113) PTFE ガスケット 1個 サイトグラス Oリング 1個 (パーカー No. 2-226)

アジレント・バリアン VHS-250 拡散ポンプ用ヒーターワイヤ端子、1個。バリアン・アジレント PN 648056680 これはアジレント・バリアン VHS-250 拡散ポンプ用ヒーターワイヤ端子です（1個単位で販売）。ヒーターワイヤ端子の位置については、下の図の No. 10 を参照してください。

Agilent Varian VHS-6 拡張コールドキャップ、メキシカンハット、拡散真空ポンプ交換部品Agilent VarianこれらのAgilent Varian VHS-6拡張コールドキャップは、VHS-6拡散真空ポンプ用のAgilent Varian純正交換部品です。拡張コールドキャップは、その形状から「メキシカンハット」と呼ばれることもあります。コールドキャップには、標準タイプと拡張タイプの2種類があります。使用するコールドキャップの種類によって、オイルの逆流や拡散ポンプの最終的な排気速度などの要素に影響します。たとえば、拡張コールドキャップは、標準コールドキャップの代わりにVHS-4、VHS-6、VHS-10ポンプ内部に取り付けるオプションです。光学的に密度の高いバッフルと同じくらい効果的に逆流を抑制しながら、ポンプの速度の80%を維持します。残留逆流は非常に少ないため、米国真空協会の標準収集方法では測定できません。コールドキャップの取り外しと取り付け手順については、下記の取扱説明書PDFの37ページを参照してください。これらの拡張型コールドキャップは、Agilent Varianの純正OEM交換部品です。下の（分解図と部品図）の項目番号2と18を参照してください。

Agilent Varian NHS-35、拡散ポンプ ASA 35 インチ 入口拡散ポンプ O リング。Agilent Varian PN 78536001 これは、ASA 35 インチ用の Agilent Varian NHS-35 拡散ポンプの入口 O リングです。ASA 公称値。

アジレント・バリアン VHS-6 拡散ポンプ バッフル保持リング。アジレント・バリアン製。これは交換用バッフル保持リングです。アジレント・バリアン VHS-6 拡散ポンプに適合します。バッフル保持リングの位置については、下記の（分解図と部品図）の項目番号15を参照してください。

アジレント・バリアン HS-2 拡散ポンプ用交換部品ヒーターブロック。アジレント・バリアン製。これは交換部品ヒーターブロックです（拡散ポンプ1台につき1個）。アジレント・バリアン HS-2 拡散ポンプに適合します。ヒーターブロックの位置については、下記の分解図の項目3を参照してください。

アジレント・バリアン VHS-6 拡散ポンプ ヒーターワイヤー用ラグ、1個単位での販売。アジレント・バリアン製。これらのアジレント・バリアン VHS-6 拡散ポンプ ヒーターワイヤーラグは、アジレント・バリアン純正交換部品です。拡散ポンプのヒーターゾーンの高温に耐えるように設計されており、1個単位で販売されています。ヒーターワイヤーラグの位置については、下の図の #10 を参照してください。

アジレント・バリアン HS-20 ヒーター用ニッケル線 10 AWG、長さ120インチ、拡散真空ポンプ交換部品 アジレント・バリアン部品番号 PN X3900-68006 これは交換用ヒーター用ニッケル線、10 AWG、長さ120インチです。アジレント・バリアン HS-20 拡散ポンプに適合します。ヒーター線の位置については、下の図10（分解図と部品図）を参照してください。（ヒーター1台につき2本必要です）

Agilent Varian VHS-400 拡散ポンプ ヒーター絶縁体、交換部品、新しいスタイルの拡散ポンプ用 Agilent Varian 部品番号 L8914001 これらの Agilent Varian VHS-400 拡散ポンプ ヒーター絶縁体カバーは、ポンプの底部カバーからヒーターを絶縁するために使用されます。新型拡散ポンプに使用されるヒーター絶縁体です。これらは、部品番号 L8903301 の OEM Agilent Varian 交換部品です。ヒーター絶縁体の位置については、以下の図の項目 #13 を参照してください。

アジレント・バリアン VHS-400 拡散ポンプ用ヒーター線、10 AWG、1フィート単位で販売。こちらはアジレント・バリアン VHS-400 拡散ポンプ用の撚り線ニッケルヒーター線、10 AWG、1フィート単位での販売です。（ポンプ1台につき、42インチの長さが3本必要です。）ヒーター線の取り付け位置については、下の図のNo.8を参照してください。

アジレント・バリアン NHS-35 拡散ポンプ用ヒートシールド。これはアジレント・バリアン NHS-35 拡散ポンプ用のヒートシールドです。

アジレント・バリアンHS-32拡散ポンプ用交換クランププレート（ポンプ1台につき6個必要） これは交換用クランププレートです。（1個）アジレント・バリアンHS-32拡散ポンプに適合します。ポンプ1台につき6個必要です。クランププレートの位置については、下記の項目#14（分解図と部品図）を参照してください。

ASAゲートバルブをHS-2拡散ポンプに取り付けるための六角ボルト。（1個）これは、ASAゲートバルブをHS-2 Varian拡散ポンプに取り付けるためのボルトです。サイズ3/8-16、長さ1インチ、粗目ねじ、ステンレス鋼（1個）。

アジレント・バリアン HS-20 ヒーター用ニッケル線 14 AWG、長さ80インチ、拡散真空ポンプ交換部品 アジレント・バリアン部品番号 PN X3900-68006 これは交換用ヒーター用ニッケル線、14 AWG、長さ80インチです。アジレント・バリアン HS-20 拡散ポンプに適合します。ヒーター線の位置については、下の図10（分解図と部品図）を参照してください。（ヒーター1台につき2本必要です）

アジレント・バリアン HS-2 拡散ポンプ用交換部品ヒータープラテン。アジレント・バリアン製。これは交換部品ヒータープラテン（拡散ポンプ1台につき1個）です。アジレント・バリアン HS-2 拡散ポンプに適合します。ヒータープラテンの位置については、下記の分解図の項目4を参照してください。

アジレント・バリアン HS-32 拡散ポンプ、交換用クラッシュプレート アジレント・バリアン部品番号 PN K7246001 (ヒーター交換時に交換してください) これは交換用クラッシュプレートです。(1個) アジレント・バリアン HS-32 拡散ポンプに適合します。ヒーター交換時に交換してください。クラッシュプレートの位置については、下記の項目 #13 (分解図と部品図) を参照してください。

アジレント・バリアン HS-2 拡散ポンプ、リフレクター アジレント・バリアン これは交換用リフレクターです。アジレント・バリアン HS-2 拡散ポンプに適合します。

アジレント・バリアン NHS-35 上部サーマルスイッチ、拡散真空ポンプ交換部品 アジレント・バリアン部品番号 PN K9050005 これは交換用上部サーマル（水）スイッチです。アジレント・バリアン NHS-35 拡散ポンプに適合します。設定温度は 200º F、93º C です。上部サーマルスイッチの位置については、下の図 #8（分解図と部品図）を参照してください。

アジレント・バリアン HS-16 拡散ポンプ用ヒーターカバープレート。アジレント・バリアン部品番号 PN 79308001。これは交換用ヒーターカバープレートです。アジレント・バリアン HS-16 拡散ポンプに適合します。ヒーターカバープレートの位置については、下記の項目 #15 (分解図および部品図) を参照してください。

アジレント・バリアン VHS-6 拡散ポンプヒーターカバー。これはアジレント・バリアン VHS-6 拡散ポンプのヒーターカバーです。ポンプヒーターカバーの位置については、下の図の13番を参照してください。

アジレント・バリアン VHS400 拡散ポンプ スロット付きクランププレート、PN R2667301（1個単位での販売） このアジレント・バリアン VHS-10 は、スロット付き後付けクランププレートです。アジレント・バリアン部品番号は R2667301 で、下の図と説明の項目番号 12 に該当します。その他の拡散ポンプアクセサリは、この Web サイトから入手できます。

アジレント・バリアン HS-16 拡散ポンプ、交換用クランププレート アジレント・バリアン部品番号 PN K4917001 (ポンプ1台につき3個必要) これは交換用クランププレートです。(1個) アジレント・バリアン HS-16 拡散ポンプに適合します。ポンプ1台につき3個必要です。クランププレートの位置については、下記の項目#13 (分解図と部品図) を参照してください。

アジレント・バリアン HS-16 拡散ポンプ、ヒーターエレメント、リード線なし、200 Vac、415 Vac、2700 ワット、アジレント・バリアン部品番号 PN 647316035。（1990 年 5 月以前に製造された HS-16 ポンプ用）これは交換用ヒーターエレメント、リード線なし、200 V、415 V、2700 W です。（1 個）アジレント・バリアン HS-16 拡散ポンプに適合します。（1990 年 5 月以前に製造された HS-16 ポンプ用）ヒーターエレメントの位置については、以下の項目 #11（分解図と部品図）を参照してください。（ポンプ 1 台につき 3 個必要）

アジレント・バリアン HS-20 拡散ポンプ、リード線なしヒーターエレメント、200 または 415 Vac、2000 ワットアジレント・バリアン部品番号 PN 647320060 (1990 年 5 月以前に製造されたポンプ用) これは、リード線なし、200 または 415 V、2000 W の交換用ヒーターエレメントです。(1 個) アジレント・バリアン HS-20 拡散ポンプに適合します。1990 年 5 月以前に製造されたポンプ用です。ヒーターエレメントの位置については、以下の項目 #11 (分解図と部品図) を参照してください。(ポンプ 1 台につき 6 個必要)

アジレント・バリアン VHS-4 空冷式拡散ポンプ用ヒータークランプ　これは、アジレント・バリアン VHS-4 空冷式拡散ポンプ用の交換用ヒータークランプです。ポンプ1台につき1個必要です。

アジレント・バリアン HS-20 拡散ポンプ用ヒーターカバープレート。アジレント・バリアン部品番号 PN 84497001。これは交換用ヒーターカバープレートです。アジレント・バリアン HS-20 拡散真空ポンプに適合します。ヒーターカバープレートの位置については、下記の項目 #15 (分解図および部品図) を参照してください。

Agilent Varian VHS-6 拡散ポンプ交換用ヒーター、ストーブトップ型、120VAC、2200W、18.3A、6.6Ω Agilent Varian これらの Agilent Varian VHS-6 および VHS-250 ヒーターは、部品番号 647306125 の VHS-6 拡散真空ポンプ用の Agilent Varian 純正交換部品です。これらの交換用拡散ポンプヒーターは、120 VAC で動作し、VHS-6、VHS-250 拡散ポンプ用に 2200 ワットの熱を生成するように設計されています。これらのヒーターエレメントは、120 VAC で 18.3 アンペアを消費し、エレメントの抵抗は 6.6 オームです。これらの Agilent Varian VHS-6 ヒーターは、下の図の #8 で示されています。

アジレント・バリアン VHS-250 拡散ポンプヒーターカバー。品番：L8997001。これはアジレント・バリアン VHS-250 拡散ポンプのヒーターカバーです。ポンプヒーターカバーの位置については、下の図の13番を参照してください。

アジレント・バリアン HS-20 拡散ポンプ用ヒーターエレメント（リード線付き）、200 Vac、2000 ワット　アジレント・バリアン部品番号 PN 647320025　これは、リード線付きの交換用ヒーターエレメント（200 V、2000 W）です。（1個）アジレント・バリアン HS-20 拡散ポンプに適合します。ヒーターエレメントの位置については、下記の項目 #11（分解図と部品図）を参照してください。（ポンプ1台につき6個必要）

Agilent Varian VHS-4 拡張コールドキャップ、メキシカンハット、拡散真空ポンプ交換部品Agilent VarianこれらのAgilent Varian VHS-4拡張コールドキャップは、VHS-4拡散真空ポンプ用のAgilent Varian純正交換部品です。拡張コールドキャップは、その形状から「メキシカンハット」と呼ばれることもあります。コールドキャップには、標準タイプと拡張タイプの2種類があります。使用するコールドキャップの種類によって、オイルの逆流や拡散ポンプの最終的な排気速度などの要素に影響します。たとえば、拡張コールドキャップは、標準コールドキャップの代わりにVHS-4、VHS-6、VHS-10ポンプ内部に取り付けるオプションです。光学的に密度の高いバッフルと同じくらい効果的に逆流を抑制しながら、ポンプの速度の80%を維持します。残留逆流は非常に少ないため、米国真空協会の標準収集方法では測定できません。コールドキャップの取り外しと取り付け手順については、下記の取扱説明書PDFの37ページを参照してください。これらの延長型コールドキャップは、Agilent Varian純正の交換部品です。下の図（分解図と部品図）の項目番号16を参照してください。

Agilent Varian HS-32 拡散ポンプ、リード線付きヒーターエレメント、240/415/480 Vac、4000 ワットAgilent Varian 部品番号 PN 647332010 これは、HS-32 拡散ポンプ用のリード線付き、4000W、240V/415V/480V の交換用拡散ポンプヒーターエレメントです。

Varian VHS-4、VHS-6、VHS-250 旧型拡散真空ポンプ用底部ヒーターカバー。このVarian VHS-4、VHS-6、VHS-250拡散真空ポンプ用交換底部ヒーターカバーはアルミニウム製で、純正品と直接交換可能です。ヒーターカバーは拡散ポンプの底部とヒーターアセンブリを保護します。その他の拡散ポンプ用アクセサリーは、このウェブサイトで入手できます。

アジレント・バリアン社製 AX-65拡散ポンプ用オプション ポンプレディ 170ºF サーマルスイッチ。アジレント・バリアン社製。これは（オプションの）ポンプレディ サーマルスイッチです。このサーマル ポンプレディ スイッチは、AX-65ポンプのサイドプレートの過熱サーマルスイッチの隣に取り付けます。このオプションのサーマルスイッチは、ポンプが動作温度に達したことを示すランプに接続できます。通常は開いており、ポンプが動作温度に達すると閉じます。スイッチは170ºF（動作温度）で閉じるように設定されています。ポンプへの取り付け/位置については、図を参照してください。

Agilent Varian AX-65 拡散ポンプヒーターハーネス用 365ºF 過熱サーマルスイッチ Agilent Varian これは、次の AX-65 拡散ポンプヒーターハーネス用の 365ºF 交換用サーマルスイッチです。 200W、115 VAC ヒーターハーネス 250W、115 VAC ヒーターハーネス 200W、220 VAC ヒーターハーネス 250W、220 VAC ヒーターハーネス 250W、165 VAC ヒーターハーネス 250W、90 VAC ヒーターハーネス これは、交換用過熱サーマルスイッチです。 常閉の過熱サーマルスイッチは、ポンプ側面のヒーターハーネスを介して拡散ポンプ本体に取り付けられています。 冷却の喪失、高温、高圧、または液面低下により、サーマルスイッチの接点が開きます。 問題が解決されると、サーマルスイッチは自動的に閉じた状態に戻ります。 スイッチは 365ºF で開くように設定されています。位置については、下記の図（分解図と部品）の6番を参照してください。

Varian VHS-4 旧型拡散ポンプ用サーマル過負荷スイッチ アルミカバーボックス このVarian VHS-4拡散真空ポンプ交換用サーマル過負荷スイッチカバーはアルミ製です。交換用取り付け金具も付属しています。サーマルスイッチは、冷却水不足などが原因で発生する過熱から拡散ポンプを保護するために使用されます。

アジレント・バリアン VHS-6 および VHS-4 拡散ポンプ交換用標準コールドキャップ。アジレント・バリアン VHS-6 および VHS-4 拡散ポンプの標準コールドキャップは、お客様の場所で取り付け可能な交換部品です。コールドキャップには、標準タイプと拡張タイプの 2 種類があります。使用するコールドキャップの種類によって、オイルの逆流や拡散ポンプの最終的な排気速度などの要素に影響します。たとえば、拡張コールドキャップは、標準コールドキャップの代わりに VHS-4、VHS-6、および VHS-10 ポンプ内部に取り付けるオプションです。光学的に密度の高いバッフルと同等の効果で逆流を抑制しながら、ポンプの速度の 80% を維持します。残留逆流は非常に少ないため、米国真空協会の標準収集方法では測定できません。コールドキャップの位置については、下図の分解図および部品図の項目 #1 を参照してください。コールドキャップの取り外しと取り付け手順については、下記の取扱説明書 PDF の 37 ページを参照してください。これらの標準コールドキャップは、Agilent Varian社製の純正交換部品です。

Varian VHS6 VHS250 拡散真空ポンプ用底部ヒーターカバー　このVarian VHS-6およびVHS-250拡散真空ポンプ用交換底部ヒーターカバーはアルミニウム製で、純正品と直接交換可能です。ヒーターカバーは拡散ポンプの底部とヒーターアセンブリを保護します。その他の拡散ポンプ用アクセサリーは、このウェブサイトで入手できます。

アジレント・バリアン製 AX-65 拡散ポンプ用インレットバッフル レトロフィット KF50 アジレント・バリアン製 これは、AX-65 真空拡散ポンプのインレット KF50 用のレトロフィットインレットバッフルです。取り付け位置については、下記の（分解図と部品図）の項目番号 3 を参照してください。

Agilent Varian HS-32 拡散ポンプ、リード線なしヒーターエレメント、240/415/480 Vac、4000 ワットAgilent Varian 部品番号 PN 647332075 これは、HS32 拡散ポンプ用のリード線なしの交換用拡散ポンプヒーターエレメントです。4000W、240V/415V/480V、1990 年 5 月以前に製造されたポンプで使用されます (ポンプ 1 つにつき 6 つのヒーターが必要です)。1 つのヒーターは、左右の 2 つの 120V ヒーターで構成されています。

アジレント・バリアン製 AX-65拡散ポンプ用インレットバッフル アジレント・バリアン製 これはAX-65拡散ポンプ用のインレットバッフルです。インレットバッフルの位置については、下記の（分解図と部品図）の項目3を参照してください。

Varian VHS-6 旧型拡散ポンプ用サーマル過負荷スイッチ アルミカバーボックス このVarian VHS-6拡散真空ポンプ交換用サーマル過負荷スイッチカバーはアルミ製です。交換用取り付け金具も付属しています。サーマルスイッチは、冷却水不足などが原因で発生する過熱から拡散ポンプを保護するために使用されます。

Varian VHS-250 旧型拡散ポンプ用サーマル過負荷スイッチ アルミカバーボックス このVarian VHS-250拡散真空ポンプ用交換サーマル過負荷スイッチカバーはアルミ製です。交換用取り付け金具も付属しています。サーマルスイッチは、冷却水不足などが原因で発生する過熱から拡散ポンプを保護するために使用されます。

Agilent Varian VHS-10 水冷真空拡散ポンプ、10 インチ ASA インレットフランジ、外径 16 インチ、最大ポンピング速度 5300 l/s 標準コールドキャップ、(2) 208 VAC 2200 ワットヒーター、Agilent Varian。 Agilent Varian VHS-10 は、高い排気速度が必要であり、スペースの制限によりコンパクトなポンプが必要なアプリケーションにおける特別なニーズを満たすように設計されています。 VHS-10 ポンプは、4400W で 1.7 x 10-3 ～ <5 x 10-9 Torr の動作範囲を持つ堅牢な汎用ユニットです。 Agilent Varian VHS-10 は、高いポンプ速度 (標準コールドキャップで最大定格 5300 l/s) と高い前圧耐性 (無負荷時で 0.65 Torr、負荷時で 0.55 Torr) の組み合わせにより、高速サイクルを必要とするアプリケーションに最適です。ガスを満載）。冷却されたコールドキャップを使用しない場合、ユニットの逆流速度は 5x10-4 mg/cm2/分です。この Agilent Varian VHS-10 拡散ポンプの内容: 10 インチ ASA インレット フランジ (外径 16 インチ フランジ、スムーズなボルト穴 12 個、直径 1 インチ穴) 2 インチ ASA 6 インチ外径アウトレット フォアライン フランジ 標準コールド キャップ 推奨ラフィング バッキング ポンプ: 30 CFM最大ポンプ速度 5300 l/s 空気 208 VAC 3 ph (4400 W)、2200 ワット ヒーター (2 個) 付き 水接続 1/8 インチ FPT T シャツ Santovac 5 または IVP 704 拡散ポンプ オイル、1000cc (1.056 Qt. ) フルチャージ 拡散ポンプは、蒸気の高速ジェットを使用して、ポンプスロート内のガス分子をポンプの底部に導き、出口から排出します。油拡散ポンプは、蒸気圧の低いオイルで動作します。その目的容積式ポンプのみを使用した場合よりも高い真空 (より低い圧力) を達成することです。Agilent Varian VHS-10 は、5x10-9 Torr 未満の圧力までポンプダウンできます。拡散ポンプは大気中に直接排出できないため、機械式フォアポンプが必要です。粗引きポンプは通常、出口圧力を約 1 mTorr に維持するために使用されます。これらの Agilent Varian 拡散ポンプは信頼性が高く、設計がシンプルで、騒音や振動がなく動作します。拡散ポンプは、依然として高真空を作り出すための最も経済的な手段です。拡散ポンプは、他のタイプの高真空ポンプを破壊する可能性のある過剰な粒子や反応性ガスなどの動作条件にも耐えます。三相 208、240、380、480 VAC ヒーター ハーネスと標準または拡張コールド キャップを組み合わせて注文できます。当社では、このポンプ用の Santovac 5 拡散ポンプ流体を在庫し、販売しています。真空アプリケーションやメンテナンスのニーズに役立つ追加のアクセサリについては、以下の「関連」セクションを参照してください。当社は、この Web サイトで別売りのさまざまな真空グリース、オイル、真空継手、ホース、真空計、センサー/トランスデューサー、部品およびアクセサリを豊富に提供しています。これらの Agilent Varian VHS-10 拡散ポンプは、ASA 10 インチ入口フランジを備え、三相 208 VAC で動作し、標準コールド キャップを備え、Agilent Varian 部品番号 F0426307 を備えています。 Agilent Varian VHS-10 拡散ポンプのユーザー取扱説明書は、以下から PDF 形式でダウンロードできます。これらは通常の在庫品であり、多くの場合注文と同じ日に発送されます。

Agilent Varian VHS-10 水冷式真空拡散ポンプ、10 インチ ASA 入口フランジ、16 インチ OD、最大排気速度 4200 l/s、拡張コールドキャップ、(2) 240 VAC 2200 ワットヒーター、Agilent Varian。Agilent Varian VHS-10 は、高速排気が必要で、スペースの制約からコンパクトなポンプが求められる用途で特別なニーズを満たすように設計されています。VHS-10 ポンプは、堅牢な汎用ユニットで、4400W で 1.7 x 10-3 ～ <5 x 10-9 Torr の動作範囲を備えています。 Agilent Varian VHS-10は、高速排気速度（拡張コールドキャップ使用時最大4200 l/s）と高い前圧耐性（無負荷時0.65 Torr、ガス負荷時0.55 Torr）を兼ね備えているため、高速サイクルを必要とするアプリケーションに最適です。冷却コールドキャップを使用しない場合、逆流率は5×10⁻⁴ mg/cm²/分です。このAgilent Varian VHS-10拡散ポンプには、以下のものが含まれています。10インチASAインレットフランジ（外径16インチフランジ、12個の滑らかなボルト穴、直径1インチの穴）、2インチASA 6インチ外径アウトレットフォアラインフランジ、延長コールドキャップ、推奨粗引きバッキングポンプ：最大排気速度30 CFM 4200 l/s、空気240 VAC 3相（4400W）、2200ワットヒーター2個付き、水接続1/8インチFPT T字管、Santovac 5またはIVP 704拡散ポンプで使用するように設計されています。オイル、1000cc（1.056クォート）満タン。拡散ポンプは、高速の蒸気ジェットを使用して、ポンプのスロート内のガス分子をポンプの底部まで送り込み、出口から排出します。オイル拡散ポンプは、蒸気圧の低いオイルで動作します。その目的は、より高い真空度を実現することです。 （低圧）容積式ポンプのみを使用した場合よりも低圧まで排気できます。Agilent Varian VHS-10は、5x10⁻⁹ Torr未満の圧力まで排気できます。拡散ポンプは直接大気中に排出できないため、通常、出口圧力を約1 mTorrに維持するために機械式前段ポンプ、粗引きポンプが使用されます。これらのAgilent Varian拡散ポンプは非常に信頼性が高く、設計がシンプルで、騒音や振動もなく動作します。拡散ポンプは、高真空圧力を生成するための最も経済的な手段です。拡散ポンプは、他のタイプの高真空ポンプを破壊するような過剰な粒子や反応性ガスなどの動作条件にも耐えることができます。3相208、240、380、480 VACヒーターハーネスと、標準または拡張コールドキャップ付きで注文できます。このポンプ用のSantovac 5拡散ポンプ液を在庫および販売しています。真空アプリケーションとメンテナンスのニーズに役立つ可能性のある追加のアクセサリについては、下記の「関連」セクションをご覧ください。このウェブサイトでは、さまざまな真空グリース、オイル、真空継手、ホース、真空計、センサー/トランスデューサー、部品、アクセサリーを別売りしています。これらの Agilent Varian VHS-10 拡散ポンプは、ASA 10 インチの入口フランジを備え、3 相 240 VAC で動作し、拡張コールドキャップを備え、Agilent Varian 部品番号は F0426318 です。Agilent Varian VHS-10 拡散ポンプのユーザー取扱説明書は、下記から PDF 形式でダウンロードできます。これらは通常在庫品であり、多くの場合、注文を受けたその日に発送されます。

Agilent Varian HS-2 拡散ポンプ、交換部品ヒーターアセンブリ、350W、120VAC、Santovac 5 オイル用。Agilent Varian これは交換部品ヒーターアセンブリ（ヒーターエレメントとも呼ばれます）です。350 ワット、120 VAC、Santovac 5 オイル用。Agilent Varian HS-2 拡散ポンプに適合します。ヒーターアセンブリの位置については、下の分解図の項目 1 と 2 を参照してください。ヒーターアセンブリの交換方法については、AVAILABLE DOWNLOADS までスクロールダウンし、HS-2 サービスマニュアル PDF の 1-3 ページを参照してください。

Agilent Varian HS-2 拡散ポンプ、交換用ヒーターアセンブリ、350W、240 VAC、Santovac 5 オイル用。これは交換用ヒーターアセンブリ（ヒーターエレメントとも呼ばれます）です。350 ワット、240 VAC、Santovac 5 オイル用。Agilent Varian HS-2 拡散ポンプに適合します。ヒーターアセンブリの位置については、下の分解図の項目 1 と 2 を参照してください。ヒーターアセンブリの交換方法については、AVAILABLE DOWNLOADS までスクロールダウンし、HS-2 サービスマニュアル PDF の 1-3 ページを参照してください。

Agilent Varian HS-2 拡散ポンプ、交換用ヒーターアセンブリ、450W、240 VAC、Santovac 5 オイル用。これは交換用ヒーターアセンブリ（ヒーターエレメントとも呼ばれます）です。450 ワット、240 VAC、Santovac 5 オイル用。Agilent Varian HS-2 拡散ポンプに適合します。ヒーターアセンブリの位置については、下の分解図の項目 1 と 2 を参照してください。ヒーターアセンブリの交換方法については、AVAILABLE DOWNLOADS までスクロールダウンし、HS-2 サービスマニュアル PDF の 1-3 ページを参照してください。

Agilent Varian AX-65 拡散ポンプ、交換用ヒーターハーネス、250W、90 VAC、サーマルスイッチ付き、Santovac 5 オイル用 Agilent Varian これは、サーマルスイッチが取り付けられた交換用ヒーターハーネス (ヒーターエレメントとも呼ばれます) です。250 ワット、90 VAC、Santovac 5 オイル用です。Agilent Varian AX-65 拡散ポンプに適合します。ヒーターハーネスの位置については、下の分解図のラベル 5 を参照してください。ヒーターハーネス (ヒーターエレメント) の交換方法については、AVAILABLE DOWNLOADS までスクロールダウンし、AX-65 サービスマニュアル PDF の A-3、A-4 ページを参照してください。

Agilent Varian AX-65 拡散ポンプ、交換用ヒーターハーネス、250W、115VAC、サーマルスイッチ付き、Santovac 5 オイル用 Agilent Varian これは、サーマルスイッチが取り付けられた交換用ヒーターハーネス (ヒーターエレメントとも呼ばれます) です。250 ワット、115 VAC、Santovac 5 オイル用です。Agilent Varian AX-65 拡散ポンプに適合します。ヒーターハーネスの位置については、下の分解図のラベル 5 を参照してください。ヒーターハーネス (ヒーターエレメント) の交換方法については、AVAILABLE DOWNLOADS までスクロールダウンし、AX-65 サービスマニュアル PDF の A-3、A-4 ページを参照してください。

Agilent Varian AX-65 拡散ポンプ、交換用ヒーターハーネス、サーマルスイッチ付き、250W、165 VAC、Santovac 5 オイル用 Agilent Varian これは、サーマルスイッチが取り付けられた交換用ヒーターハーネス (ヒーターエレメントとも呼ばれます) です。250 ワット、165 VAC、Santovac 5 オイル用です。Agilent Varian AX-65 拡散ポンプに適合します。ヒーターハーネスの位置については、下の分解図のラベル 5 を参照してください。ヒーターハーネス (ヒーターエレメント) の交換方法については、AVAILABLE DOWNLOADS までスクロールダウンし、AX-65 サービスマニュアル PDF の A-3、A-4 ページを参照してください。

Agilent Varian AX-65 拡散真空ポンプの温度測定用交換熱電対。Agilent Varian 熱電対 (現在は製造中止) と同等品。Agilent Varian AX-65 拡散真空ポンプの温度測定用交換熱電対。Agilent Varian 熱電対 (現在は製造中止) と同等品。片端を拡散ポンプに接続し、もう片端を温度計に接続します。

Agilent Varian ボルト、ASA ゲートバルブを ASA 拡散ポンプに取り付けるためのボルト、3/4-10 1-1/4 インチ長六角ボルト - 粗目ねじ、各 1 個。これらは、ASA ゲートバルブを ASA 拡散ポンプに取り付けるためのボルトです。ASA サイズは 6、8、10 インチです。各 1 個、サイズ 3/4-10 1-1/4 インチ長六角ボルト - 粗目ねじ。

Agilent Varian VHS10 拡散ポンプ チューブ型ヒーター 240VAC、2550W、10.6A、22.6Ω、ヒーター1個あたり（1個単位で販売） これらのAgilent Varian VHS-10 拡散真空ポンプ チューブ型交換ヒーターは、240 VAC 入力電源で使用します。これらのヒーターは 2550 ワット、10.6 アンペアを消費し、室温での抵抗は 22.6 Ω です。これらのヒーターは 240 VAC で動作するように設計されており、（5100 ワットの加熱電力）には 2 個のヒーターが必要です。ヒーターアセンブリの交換手順については、以下の取扱説明書 .pdf の 43 ページを参照してください。このヒーターの Agilent Varian 部品番号は 647310155 で、その位置は、以下の図と説明の項目番号 10 です。その他の拡散ポンプアクセサリは、この Web サイトから入手できます。

Agilent Varian VHS400 拡散ポンプ チューブ型ヒーター 240VAC、2550W、10.6 A、22.6 オーム、ヒーターあたり、PN 647310155 (1 個単位で販売) これらの Agilent Varian VHS-400 拡散真空ポンプ チューブ型交換ヒーターは、240 VAC 入力電源で使用します。これらのヒーターは 2550 ワット、10.6 アンペアを消費し、室温での抵抗は 22.6 オームです。これらのヒーターは 240 VAC で動作するように設計されており、(5100 ワットの加熱電力) には 2 つのヒーターが必要です。ヒーター アセンブリの交換手順については、以下の取扱説明書 .pdf の 43 ページを参照してください。このヒーターの Agilent Varian 部品番号は 647310155 で、その位置は、以下の図と説明の項目 #10 です。その他の拡散ポンプアクセサリは、この Web サイトから入手できます。

アジレント・バリアン NHS-35 拡散ポンプ、ヒーターエレメント（リード線なし）、240/480 Vac、4000 ワット アジレント・バリアン部品番号 PN 647235248 これは、リード線なし、240/480V、4000 W の交換用ヒーターエレメントです。（1 個） アジレント・バリアン NHS-35 拡散ポンプに適合します。（1990 年 5 月以前に製造されたポンプに使用） ヒーターエレメントの位置については、下記の項目 #11（分解図と部品図）を参照してください。（ポンプ 1 台につき 6 個必要）

Agilent Varian VHS10 拡散ポンプ チューブラー ヒーター 380VAC、2200W、5.8A、66 オーム、ヒーターごと、PN 647310160 (各 1 つずつ販売) これらの Agilent Varian VHS-10 拡散真空ポンプ チューブラー スタイルの交換用ヒーターは、380 VAC 入力電源で使用します。 。これらのヒーターは 2200 ワット、5.8 アンペアを消費し、室温抵抗は 66 オームです。これらのヒーターは 380 VAC で動作するように設計されており、(4400 ワットの加熱電力) には 2 つのヒーターが必要です。ヒーターアセンブリの交換手順については、以下の取扱説明書 .pdf の 43 ページを参照してください。このヒーターの Agilent Varian 部品番号は 647310160 です。その他の拡散ポンプ アクセサリは、この Web サイトで入手できます。

Agilent Varian VHS400 拡散ポンプ チューブ型ヒーター 380VAC、2200W、5.8A、66オーム、ヒーター1個あたり、PN 647310160 (1個単位で販売) これらの Agilent Varian VHS-400 拡散真空ポンプ チューブ型交換ヒーターは、380 VAC 入力電源で使用します。これらのヒーターは 2200 ワット、5.8 アンペアを消費し、室温での抵抗は 66 オームです。これらのヒーターは 380 VAC で動作するように設計されており、(4400 ワットの加熱電力) には 2 個のヒーターが必要です。ヒーターアセンブリの交換手順については、以下の取扱説明書 .pdf の 43 ページを参照してください。このヒーターの Agilent Varian 部品番号は 647310160 です。その他の拡散ポンプアクセサリは、この Web サイトから入手できます。

Agilent Varian VHS10 拡散ポンプ チューブラー ヒーター 380VAC、2550W、6.7A、56.6 オーム、ヒーターごと、PN 647310165 (各 1 つずつ販売) これらの Agilent Varian VHS-10 拡散真空ポンプ チューブラー スタイルの交換用ヒーターは、380 VAC 入力電源で使用します。 。これらのヒーターは 2550 ワット、6.7 アンペアを消費し、室温抵抗は 56.6 オームです。これらのヒーターは 380 VAC で動作するように設計されており、(5100 ワットの加熱電力) には 2 つのヒーターが必要です。ヒーターアセンブリの交換手順については、以下の取扱説明書 .pdf の 43 ページを参照してください。このヒーターの Agilent Varian 部品番号は 647310165 で、その位置は以下の図と説明の項目 #10 です。他の拡散ポンプのアクセサリは、この Web サイトで入手できます。

Agilent Varian VHS400 拡散ポンプ チューブ型ヒーター 380VAC、2550W、6.7A、56.6Ω、ヒーター1個あたり、PN 647310165 (1個単位で販売) これらの Agilent Varian VHS-400 拡散真空ポンプ チューブ型交換ヒーターは、380 VAC 入力電源で使用します。これらのヒーターは 2550 ワット、6.7 アンペアを消費し、室温での抵抗は 56.6 Ω です。これらのヒーターは 380 VAC で動作するように設計されており、(5100 ワットの加熱電力) には 2 個のヒーターが必要です。ヒーターアセンブリの交換手順については、以下の取扱説明書 .pdf の 43 ページを参照してください。このヒーターの Agilent Varian 部品番号は 647310165 で、その位置は、以下の図と説明の項目番号 10 です。その他の拡散ポンプアクセサリは、この Web サイトから入手できます。

Agilent Varian VHS-10 拡散ポンプ ヒーター ワイヤ、10 AWG、フット単位で販売。これは、Agilent Varian VHS-10 拡散ポンプのより線ニッケル ヒーター ワイヤで、フット単位で販売されます。 (ポンプごとに合計交換するには 3 ～ 42 インチの長さが必要です)。ヒーター線の位置については、以下の図の No.9 を参照してください。

Agilent Varian VHS10 拡散ポンプ SLOTTED クランプ プレート、PN R2667301 (各 1 個ずつ販売) これらの Agilent Varian VHS-10 は、SLOTTED レトロフィット クランプ プレートです。この製品の Agilent Varian 部品番号は R2667301 で、その位置は以下の図と説明の項目 #12 です。他の拡散ポンプのアクセサリは、この Web サイトで入手できます。

Agilent Varian VHS-10 拡張コールド キャップ、メキシカン ハット、拡散真空ポンプ交換部品 Agilent Varian 部品番号 L8917301 これらの Agilent Varian VHS-10 拡張コールド キャップは、VHS-10 拡散真空ポンプ用の OEM Agilent Varian 交換部品です。拡張コールドキャップは、その形状からメキシカンハットと呼ばれることもあります。コールド キャップには、標準と拡張の 2 種類があります。使用されるコールド キャップの種類は、オイルの逆流や拡散ポンプの最終ポンピング速度などの要因に影響します。たとえば、拡張コールド キャップは、標準のコールド キャップの代わりに VHS-4、VHS-6、および VHS-10 ポンプ内に適合するオプションです。光学的に高密度のバッフルと同じくらい効果的に逆流を止めますが、ポンプ速度の 80% を維持します。残留逆流量は非常に少ないため、米国真空協会の標準収集方法では測定できません。コールドキャップの取り外し・取り付け手順は下記取扱説明書PDFの41ページをご覧ください。これらの拡張コールド キャップは、部品番号 L8917301 の OEM オリジナル Agilent Varian 交換部品です。以下の項目 #2 (分解図と部品の図) を参照してください。

Agilent Varian VHS-10 拡散ポンプ交換用標準コールド キャップ。 Agilent Varian PN F0429301。これらの Agilent Varian VHS-10 拡散ポンプの標準コールド キャップは、お客様の場所で取り付けることができる交換部品です。コールド キャップには、標準と拡張の 2 種類があります。使用されるコールド キャップのタイプは、オイルの逆流や拡散ポンプの最終ポンピング速度などの要因に影響します。たとえば、拡張コールド キャップは、標準のコールド キャップの代わりに VHS-4、VHS-6、および VHS-10 ポンプ内に適合するオプションです。光学的に高密度のバッフルと同じくらい効果的に逆流を止めますが、ポンプ速度の 80% を維持します。残留逆流量は非常に少ないため、米国真空協会の標準収集方法では測定できません。コールド キャップの位置については、以下に示す分解図と部品図の項目 #1 を参照してください。コールドキャップの取り外し・取り付け手順は下記取扱説明書PDFの41ページをご覧ください。これらの標準コールド キャップは、部品番号 F0429301 の OEM オリジナル Agilent Varian 交換部品です。

アジレント・バリアン HS-16 拡散ポンプ、ヒーターエレメント、リード線なし、480 Vac、2700 ワット、アジレント・バリアン部品番号 PN 647316045。（1990 年 5 月以前に製造された HS-16 ポンプ用）これは交換用ヒーターエレメント、リード線なし、480 V、2700 W です。（1 個）アジレント・バリアン HS-16 拡散ポンプに適合します。（1990 年 5 月以前に製造された HS-16 ポンプ用）ヒーターエレメントの位置については、以下の項目 #11（分解図と部品図）を参照してください。（ポンプ 1 台につき 3 個必要）

Agilent Varian VHS-10 拡散ポンプ ヒーター絶縁体、交換部品、新しいスタイルの拡散ポンプ用 Agilent Varian 部品番号 L8914001 これらの Agilent Varian VHS-10 拡散ポンプ ヒーター絶縁体カバーは、ポンプの底部カバーからヒーターを絶縁するために使用されます。新型拡散ポンプに使用されるヒーター絶縁体です。これらは、部品番号 L8914001 の OEM Agilent Varian 交換部品です。ヒーター絶縁体の位置については、以下の図の項目 # 13 を参照してください。

アジレント・バリアン HS-16 拡散ポンプ用ヒーターエレメント（リード線付き）、200 Vac、415 Vac、3200 ワット。アジレント・バリアン部品番号 PN 647316023。これは、リード線付きの交換用ヒーターエレメント（200 V、415 V、3200 W）です。（1個）アジレント・バリアン HS-16 拡散ポンプに適合します。ヒーターエレメントの位置については、下記の項目 #11（分解図と部品図）を参照してください。（ポンプ1台につき3個必要）

アジレント・バリアン NHS-35 拡散ポンプ用ヒーターエレメント（リード線付き）、240/480 Vac、4000 ワット。アジレント・バリアン部品番号 PN 647335020。これは、リード線付きの交換用ヒーターエレメント（240/480V、4000 W）です。（1個）アジレント・バリアン NHS-35 拡散ポンプに適合します。ヒーターエレメントの位置については、下記の項目 #11（分解図と部品図）を参照してください。（ポンプ1台につき6個必要）

アジレント・バリアン NHS-35 拡散ポンプ用ヒーターエレメント（リード線付き）、440 Vac、4000 ワット　アジレント・バリアン部品番号 PN L6383011　これは、リード線付きの交換用ヒーターエレメント（440V、4000 W）です。（1個）アジレント・バリアン NHS-35 拡散ポンプに適合します。ヒーターエレメントの位置については、下記の項目 #11（分解図と部品図）を参照してください。（ポンプ1台につき6個必要）

アジレント・バリアン HS-16 拡散ポンプ用ヒーターエレメント（リード線付き）、480 Vac、2700 ワット　アジレント・バリアン部品番号 PN 647316030　これは、リード線付きの交換用ヒーターエレメント（480V、2700 W）です。（1個）アジレント・バリアン HS-16 拡散ポンプに適合します。ヒーターエレメントの位置については、下記の項目 #11（分解図と部品図）を参照してください。（ポンプ1台につき3個必要）

アジレント・バリアン HS-16 拡散ポンプ用ヒーターエレメント（リード線付き）、480 Vac、3200 ワット　アジレント・バリアン部品番号 PN 647316033　これは、リード線付きの交換用ヒーターエレメント（480V、3200 W）です。（1個）アジレント・バリアン HS-16 拡散ポンプに適合します。ヒーターエレメントの位置については、下記の項目 #11（分解図と部品図）を参照してください。（ポンプ1台につき3個必要）