Ideal Vacuum ガスシリンダー混合アセンブリ、304L ステンレス鋼シリンダー、Matheson 3530A シングルステージレギュレーターシリンダーグレード: DOT-3E-1800、304L ステンレス鋼Ideal Vacuum ガスシリンダー混合アセンブリは、さまざまな用途でプロセスガスの混合を簡素化するように設計されています。ガスレギュレーターとガスレギュレーターパージバルブアセンブリを備えたこのシステムは、高圧ニードルバルブ (最大 6000 PSI) を使用して、混合シリンダーへのガス流量を正確に制御します。このシステムに装備されているシリンダーは 304L ステンレス鋼で、壁厚は 2.4mm で、推奨最大圧力 1800 PSI (@ 37°C) まで加圧できます。内部 PTFE コーティングまたは内部電解研磨仕上げのシリンダーもこの Web サイトから入手できます。シリンダーの最大圧力定格は温度によって異なります。シリンダーをそれぞれの温度制限以上に加圧しないでください。パージシステムは、シリンダーを使用していない間、レギュレーターを清潔に保つために不可欠です。腐食性ガスが混合されると、最終的にレギュレーターのシールが侵食され、時間の経過とともに故障します。これを回避するには、パージアセンブリラインを不活性ガスシリンダーと真空ポンプに接続できます。レギュレーターの寿命を大幅に延ばすために、混合アセンブリを腐食性物質で使用した後は、不活性ガスでレギュレーターを数回真空引きしてパージすることをお勧めします。想定される用途には、質量分析計、残留ガス分析装置（RGA）試験、気相クロマトグラフィー、インキュベーター、混合ガス貯蔵、半導体ガスサンプリング、レーザー分光法、前駆体供給、大気外サンプル貯蔵、化学ガスレーザー用充填ガス、一般的なガス混合および貯蔵用途などがあります。

理想的な真空ガスシリンダー混合アセンブリ、304L ステンレス鋼シリンダー、Matheson 3530A シングルステージレギュレーターシリンダーグレード: DOT-3E-1800 理想的な真空ガスシリンダー混合アセンブリは、さまざまな用途でプロセスガスの混合を簡素化するように設計されています。このシステムは、ガス レギュレーターとガス レギュレーター パージ バルブ アセンブリを備えており、高圧ニードル バルブ (最大 6000 PSI) を使用して、混合シリンダーへのガスの流れを正確に制御します。このシステムに装備されているシリンダーは 304L ステンレス鋼で、肉厚は 2.4 mm で、推奨最大値 1800 PSI (@ 37°C) まで加圧できます。内部 PTFE コーティングまたは内部電解研磨仕上げを施したシリンダーもこの Web サイトで入手できます。シリンダーの最大圧力定格は温度によって異なります。それぞれの温度制限を超えてシリンダーを加圧しないでください。 パージシステムは、シリンダーを使用していないときにレギュレーターを清潔に保つために非常に重要です。腐食性ガスが混入すると、最終的にレギュレーターのシールが侵食され、時間の経過とともにレギュレーターが故障する原因になります。これを回避するには、パージ組立ラインを不活性ガスシリンダーと真空ポンプに接続します。レギュレータの寿命を大幅に延ばすために、混合アセンブリを使用した後は、いかなる量の腐食剤であっても、レギュレータを排気して不活性ガスで数回パージすることをお勧めします。潜在的な用途には以下が含まれます。 質量分析計 残留ガス分析装置 (RGA) テスト 気相クロマトグラフィー インキュベーター ガス混合物貯蔵 半導体ガス サンプリング レーザー分光法 前駆物質の配送 大気外サンプル貯蔵 化学ガス レーザー用ガスの充填 一般的なガス混合および貯蔵用途

原子層堆積 (ALD) 液体前駆体蒸気供給シリンダーシステム シリンダー容量: 150cm3 シリンダーグレード: DOT-3E-1800 化学気相堆積 (CVD)、有機金属化学気相堆積 (MOCVD)、および原子層堆積 (ALD) のプロセスでは、液体前駆体からの気相蒸気の制御された供給が必要です。これらの液体蒸気ガス供給シリンダーには、バッファガスの流れの中に前駆体蒸気を閉じ込めるのに役立つ統合バブラーが含まれています。これらの蒸気供給シリンダーは、耐薬品性 316 ステンレス鋼で作られており、入口と排気に 1/4 回転ボールバルブが付いています。シリンダーは、最大 1800 PSI (@ 37°C) の圧力に耐える定格です。シリンダーの最大圧力定格は温度によって異なります。それぞれの温度制限を超えてシリンダーに圧力をかけないでください。流れの方向は各バルブに印刷されています。バッファガスが堆積プロセスに向かって正しい方向に流れると、シリンダーの底部に気泡が形成され、それが前駆体液体の中を上昇します。これにより、通常はヘリウム、ネオン、またはアルゴンである緩衝ガス中に、希釈された前駆体蒸気を一定かつ安定的に流すことができます。これらの液体前駆体蒸気供給ガスボンベは、加熱または冷却して、前駆体の蒸気圧と濃度を制御できます。これにより、正確な流量濃度を生成できます。入口および出口バルブは、1/4インチのSwagelok®継手ボールバルブですが、発火性液体には対応していません。可燃性の高い発火性液体を使用したALDアプリケーションでは、安全性を向上させるために、供給ボンベにダイヤフラムバルブを取り付け、トリメチルアルミニウム（TMA）、トリエチルアルミニウム（TEA）、ジエチル亜鉛（DEZn）、トリメチルガリウム（TMGa）などの発火性液体に対応できるようにアップグレードしています。Swagelok®およびVCR®は、Swagelok社の登録商標です。Vac Goop™は、Swagelok社の商標です。Ideal Vacuum Productsは、Swagelok社の正規代理店ではありません。