6 x 6 x 6 立方モジュラー真空チャンバー パッケージ、エドワーズ E2M1.5 ロータリー ベーン デュアル ステージ粗引きポンプ、対流強化ピラニ ゲージ、およびコントローラー付き

この Ideal Vacuum モジュラー キューブ パッケージには、6 x 6 x 6 インチの真空キューブ、115 VAC Edwards E2M1.5 ロータリー ベーン デュアル ステージ真空ポンプ、Ideal Vacuum (IVP) XGC-321 対流強化ピラニ ゲージ、および XGC-320 コントローラーが付属しています。必要な組み立てハードウェアとケーブルはすべて付属しています。組み立ては迅速かつ簡単で、必要なのは 3/16 インチの六角レンチだけです。

Edwards E2M1.5 ポンプのベース圧力は 1.1 x 10 ^-3 Torr、ポンピング速度は 1.3 cfm です。付属の Ideal Vacuum XGC320 ピラニ ゲージ コントローラと XGC-321 対流強化ピラニ ゲージ センサーは、大気圧から 1x10 ^-4 Torr までの圧力を測定します。ケーブルも付属しています。

このキューブ パッケージには、真空チャンバーに大気を導入するためのベント バルブ、金属ベローズ粗引きホース、および E2M1.5 ロータリー ベーン ポンプを真空チャンバーに接続するために必要なすべてのハードウェアも含まれています。付属の 3 つの KF-25 ポート プレートと 3 つのブランク キューブ プレートは、フレームのどの側にも取り付けることができるため、ユーザーは自分のニーズに合わせてチャンバーを組み立てることができます。交換可能なキューブ プレートは多数用意されており、チャンバーの再構成が必要な場合は 1 つまたは複数のプレートを簡単に交換できます。

この 6 x 6 x 6 チャンバー パッケージには以下が含まれます。

• 数量 1、P106861、6 x 6 x 6 キューブフレーム
• 数量 1、P107293、キューブ組み立てハードウェア キット (プレート シールおよび取り付けネジを含む)
• 数量 3、P106865、中央に KF-25 ポートを備えた 6 x 6 キューブ プレート
• 数量 3、P106862、6 x 6 キューブ ブランク プレート
• 数量 3、P101243、KF-25 ステンレス スチール センタリング リング、Viton O リング付き
• 数量3個、P104599、KF-25バルクヘッドクランプ
• 数量 1、P107297、ゴム製防振脚キット

粗引きラインアクセサリが付属:

• 数量2個、P101227、KF-25からKF-16への円錐レデューサー
• 数量 1、P103703、40 インチ、KF-16、薄壁金属ベローズ ホース
• 数量 2、P101242、KF-16 ステンレス スチール センターリング、Viton O リング付き
• 数量 3 個、P102581、ラチェット留め具付き KF-16 クイッククランプ
• 数量 1、P103899、KF-10 空気吸入ベントバルブ
• 数量 2、P101246、KF-10 ～ KF-16 ステンレス鋼アダプティブ センタリング リング (Viton O リング付き)

ロータリーベーンルージングポンプと圧力計が付属:

• 数量 1、P101924、エドワーズ E2M1.5 ロータリーベーン デュアルステージ真空ポンプ、A37132902、115 VAC
• 数量 1、P1010252、IVP XGC320 ゲージ コントローラ (2 つの設定ポイント付き)、XGC-321 対流強化ピラニ ゲージ、10 フィートのセンサー ケーブル、および電源

組み立て手順については、キューブ プレート取り付けマニュアルと真空継手組み立てガイドをダウンロードしてください。
Cube プレート メンテナンスおよびサービス ツールキット(P1010554)を使用して Cube を組み立てます。