HVA 超高真空（UHV）手動式ゲートバルブ、コンフラットCF 14.0インチフランジ、バイトン製ゲートシールおよびOFHC銅製ボンネットシール、304ステンレス鋼製、PN: 11120-1200

HVAブランドの手動操作式ゲートバルブシリーズ11000は米国製で、Conflat CF 14.0インチ（DN300）真空フランジと3/8-24 UNFのブラインドタップ穴を備えています。超高真空（UHV）に対応し、ISO 3669:2020に記載されているナイフエッジフランジの真空技術規格に準拠しています。HVA部品番号：11120-1200。

HVA手動式超高真空ゲートバルブは、真空密閉性を確保するポジティブロックオーバーセンター機構を備えています。ゲートシールはバイトンフッ素エラストマー（FKM）製、ボンネットシールはOFHC銅製です。ベローズはボンネットに溶接されており、漏れのない動作を実現します。ゲートとバルブ本体は耐腐食性に優れた304ステンレス鋼製で、メンテナンスが必要になるまでの標準的な寿命は10万サイクル（プロセスによって異なります）です。

HVAバルブ本体は、真空バルブ業界において最も内部表面積が小さいバルブの一つです。本体および主要な内部部品はすべて、独自のプロセスを用いて1100℃、1× ^10⁻⁶ Torrの真空炉でろう付けされています。このプロセスにより、接合部の完全性が最大限に確保され、運転中のガス放出が最小限に抑えられ、仮想的な漏れや閉じ込め領域の可能性が排除され、従来の溶接バルブに見られる本体の歪みが最小限に抑えられます。

Conflat CFフランジを備えたHVAゲートバルブは、超高真空用途向けに設計されており、金属同士のボンネットシールにより^10⁻¹⁰ Torrの到達圧力範囲を実現できます。HVAゲートバルブのヘリウムリーク率は1.5 x ^10⁻¹⁰ Torr l/secで、バルブを開いた状態で200℃、バルブを閉じた状態で150℃までベーキング可能です。当社で取り扱っているすべてのHVAゲートバルブに対応する修理キットをご用意しております。

HVAゲートバルブは、高真空用と超高真空用があり、以下のサイズが用意されています。

• クイックフランジサイズ：KF-16、KF-25、KF-40、KF-50
• ISO LFフランジ付きISO-63、-100、-160、-200、-250、-320、-400、および-500サイズ
• ASA ANSI規格の2、4、6インチサイズ
• Conflat (CF) 1.33、2.75、3.375、4.5、6、8、10、12、13.25、14インチサイズ

インストールマニュアルと操作手順書はダウンロードページから入手できます。