Ideal Vacuum Products社製 Super-Seal 高真空 HV 180° インライン手動ベローズバルブ、外径0.75インチのチューブ端部付き。これは、入口および出口ポートに外径0.75インチのチューブ端を備えた、手動操作式の180°インラインIdeal Vacuum Super-Sealベローズバルブです。高真空( 10⁻⁸ Torr)での使用が想定されており、60~80 psigの正圧範囲まで使用できます。これらのSuper-Sealバルブのリーク率は10⁻⁹ Torr l/s(He)です。すべての高真空定格Super-Sealバルブは、バルブ本体と機構に304Lステンレス鋼を使用し、ボンネットとポペットシールOリングにはViton®を使用しています。これらのバルブは、ポリマーエラストマー表面の摩擦が少なく摩耗がないため、数千サイクルにわたって繰り返しシール動作が可能です。Super-Sealバルブは、排気ガス流量を最大化するために高い伝導性を提供します。これらのバルブは150℃までベーキング可能(Viton Oリングによって制限されます)で、最大差圧に耐えることができます。 15 psig。どの向きにも取り付け可能です。
手動操作式のスーパーシールベローズバルブは、自動化が不要な場合に最適なソリューションです。同様の空気圧式ベローズバルブに比べて、価格が大幅に安く、設置も迅速です。手動ベローズバルブは、粗引き工程や高真空前処理ラインで頻繁に使用され、チャンバーの排気バルブとしても最適です。Ideal Vacuum社の手動ベローズ式スーパーシールバルブは、半導体製造、プラズマ物理学研究、原子力加速器など、幅広い用途で使用されています。
スーパーシール社製高真空対応バルブ(バイトンシール使用)用の主要および小規模修理キットは在庫しており、すぐに発送可能です。スーパーシール社製手動ベローズバルブを最高の性能で稼働させ続けることができます。その他のOリングシール材(ブナゴム、シリコンゴム、カルレッツゴム)を使用したキットは特注で承ります。
仕様および寸法データについては、パンフレットをご覧ください。手動操作式ベローズバルブおよびアクセサリであるIdeal Vacuum Super-Sealシリーズの詳細については、ユーザーマニュアルをダウンロードしてください。自動化が必要な場合には、Super-Sealソレノイド式空気圧ベローズバルブシリーズもご用意しております。