これは、入口と出口ポートに KF-25 フランジを備えた、手動操作式の 90° 直角 Ideal Vacuum Super-Seal ベローズバルブです。高真空 (10 ^-8 Torr) での使用が想定されており、最大 15 psig の正圧範囲で使用できます。これらの Super-Seal バルブのリーク率は 10 ^-9 Torr l/s (He) です。すべての高真空定格 Super-Seal バルブは、バルブ本体と機構に 304L ステンレス鋼を使用し、ボンネットとポペットシール O リングには Viton® を使用しています。これらのバルブは、ポリマーエラストマー表面の摩擦が少なく摩耗がないため、数千サイクルにわたって繰り返しシール動作が可能です。Super-Seal バルブは、排気ガス流量を最大化するために高い伝導性を提供します。これらのバルブは、最大 150℃ までベーキング可能 (Viton O リングによって制限されます) で、最大 15 psig の差圧に耐えることができます。それらはどの方向にも取り付けることができます。

手動操作式のスーパーシールベローズバルブは、自動化が不要な場合に最適なソリューションです。同様の空気圧式ベローズバルブに比べて、価格が大幅に安く、設置も迅速です。手動ベローズバルブは、粗引き工程や高真空前処理ラインで頻繁に使用され、チャンバーの排気バルブとしても最適です。Ideal Vacuum社の手動ベローズ式スーパーシールバルブは、半導体製造、プラズマ物理学研究、原子力加速器など、幅広い用途で使用されています。

スーパーシール社製高真空対応バルブ（バイトンシール使用）用の主要および小規模修理キットは在庫しており、すぐに発送可能です。スーパーシール社製手動ベローズバルブを最高の性能で稼働させ続けることができます。その他のOリングシール材（ブナゴム、シリコンゴム、カルレッツゴム）を使用したキットは特注で承ります。

仕様および寸法データについては、パンフレットをご覧ください。手動操作式ベローズバルブおよびアクセサリであるIdeal Vacuum Super-Sealシリーズの詳細については、ユーザーマニュアルをダウンロードしてください。自動化が必要な場合には、Super-Sealソレノイド式空気圧ベローズバルブシリーズもご用意しております。