Ideal Vacuum XactGauge XGC-321 対流強化型ピラニセンサーゲージ、8 VCR® メス

Ideal Vacuum社のXactGauge XGC-321対流強化型ピラニゲージは、堅牢でありながら低価格な熱伝導率センサーであり、当社のXactGauge XGC-320対流強化型ピラニゲージコントローラーと組み合わせることで、 ^1x10⁻⁴ ～1000 Torrの範囲で正確な圧力測定を実現します。標準的な精度（N 2 ）は、400～1000 Torrで±2.5%、 ^1x10⁻³ ～400 Torrで±、 ^1x10⁻⁴ ～ ^1x10⁻³ Torrで0.1 mTorrの分解能です。

熱伝導式圧力計は、センサーから周囲のガスへの熱損失を感知することで、間接的に圧力を測定します。ガスの圧力が高いほど、センサーから伝導される熱量が多くなります。ピラニ式熱伝導式圧力計は、センサー（通常はワイヤー）を一定温度に保ち、その温度を維持するために必要な電流または電力を測定します。標準的なピラニ式圧力計の有効な測定範囲は約^10⁻⁴ Torr から 10 Torr です。対流強化型ピラニ式圧力計は、センサー内部の対流を利用して、圧力測定範囲を大気圧をわずかに超えるところまで拡張します。

当社のXactGauge XGC-321対流強化型ピラニセンサーゲージは、以下の8種類のフランジサイズからお選びいただけます。

Ideal Vacuum社のXactGauge XGC-321対流強化型ピラニゲージは、他の類似製品に比べていくつかの利点があります。

当社のセンサーの温度補償コイルは真空筐体の外側に設置されており、内部にはポリイミドコーティングが施されていません。そのため、凝縮性蒸気を吸収する心配がありません。

他の類似ゲージと比較して、XactGauge XGC-321センサーは内部マンドレルアセンブリを使用しないため、物理的に小型化されています。これにより、ユニット内の部品点数と溶接箇所が削減され、コストが抑えられるとともに、振動による故障も軽減されます。また、同等製品と比較して内部表面積が1/3、体積が2/3少ないため、ガス放出が大幅に抑制され、圧力変化に対する応答時間も短縮されます。

XactGauge XGC-321センサーケーブルは、当社のXGC-320コントローラーに接続するDB9オス型ケーブルコネクタを備えており、Granville-Phillips 475などの他社製コントローラーおよびケーブルとも互換性があります。

窒素/空気以外のガスを測定する場合は、特に1 Torrを超える圧力では、窒素と使用ガスとの熱伝導率の差を考慮して、コントローラーで正確な補正を行う必要があります。爆発性、腐食性、または有毒なガスには使用しないでください。