これらの大型Ideal Vacuum Super-Seal空気圧ベローズ90°アングルバルブは、回転フランジ付きのCF 8.0インチの入口および出口ポートを備えています。主に超高真空領域（ ^10⁻¹⁰ Torr）での使用を想定して設計されており、リーク率は^10⁻¹¹ Torr l/s（He）で、最大15 psiの正圧まで使用できます。これらのバルブは、304Lステンレス鋼製のバルブ本体と機構、アルミニウム製アクチュエータ、銅製ボンネットシールで構成されています。Super-Sealバルブは、バルブ本体のみ100℃までベーキング可能です。これらのバルブは、どの方向にも取り付けることができます。

これらの大型スーパーシールバルブは、開閉に空気が必要です。スプリングリターン機構がないため、自動的に閉じることはありません。60～80psiの低流量で乾燥した圧縮空気が必要です。自動スプリング閉鎖機構がないため、電源や空気供給が途絶えた場合でもチャンバー内の真空状態を維持するための保護機能は提供できません。

バルブの開閉に必要な空気の流れは、（大型の）複動式電気駆動ソレノイドによって制御されます。ソレノイドの電圧は、12VDC、24VDC、110VAC、220VACの4種類から選択可能です。

スーパーシールバルブには、機械式リードスイッチと2種類のトランジスタ（NPN型とPNP型）を含む3種類の位置表示センサーが用意されています。各センサーにはLEDが搭載されており、バルブの状態（開閉状態）を視覚的に確認できます。これらのセンサーは、補助機器のスイッチングやトリガーにも使用できます。

スーパーシールバルブシリーズには、溶接可能なチューブ、KF、ISO-K、およびコンフラット（CF）フランジのオプションがあり、外径3/4インチのチューブ（KF-16）から外径10インチのチューブ（ISO-K 250）まで対応しています。また、多くの製品は直角（90°）タイプとインラインタイプが用意されています。

これらのバルブはコストパフォーマンスに優れ、極めて高い信頼性を誇るため、半導体製造、プラズマ物理学研究、原子力加速器などの用途に最適です。真空プロセス自動化における主要コンポーネントであり、平均故障間隔（MTTF）は100万サイクル以上です。

ソレノイドと位置表示センサーは別売りです。

技術仕様については下記をご覧ください。また、Ideal Vacuum Super-Sealシリーズの空気圧ベローズバルブおよび付属品に関する詳細情報については、ユーザーマニュアルをダウンロードしてください。