Inficon BPG 402-SD ベヤード・アルパート ピラニ コンビネーション超高真空ゲージ、KF25、2 つのイットリウム酸化物コーティングされたイリジウム フィラメント、Torr、mbar、または Pa を読み取り、D Sub 15 ピン コネクタ、0.774 - 10V 測定範囲、DeviceNET。
Inficon 部品番号: 353-576。これは、Inficon ピラニ コンビネーション超高真空ゲージ BPG 402-SD です。Inficon Bayard-Alpert ピラニ コンビネーション ゲージ BPG 402-SD は、1 つのコンパクトなユニットで 2 つのゲージとして機能します。テクノロジーを組み合わせることで、インストール、セットアップ、統合の複雑さが軽減されます。2 つの長寿命イットリウム酸化物コーティング イリジウム フィラメントにより、手頃な価格で繰り返し可能なプロセスからベース圧力測定までを 1 つの経済的なパッケージで実現します。オンボード キャリブレーション データを備えたセンシング エレメントにより、センサー交換時に高い再現性が保証されます。このゲージには、D サブ 15 ピン コネクタと、DNET インターフェイスおよび 2 つのセットポイントによる +0.774... +10V 測定範囲があります。このゲージの測定範囲は、5×10-10 mbar から大気圧 (3.8×10-10 Torr から大気圧) までと非常に広範囲です。
この Inficon BPG 402-SD コンビネーション ゲージは、適切な Inficon 信号ケーブルを使用すれば、ほぼすべての真空ポンプまたは真空ポンプ システムで使用できます。このゲージには、D-Sub15 ピン コネクタと DNET インターフェイスがあります。このゲージは、Inficon 真空ゲージ コントローラ VCG 401、402、403、または他の適切なコントローラと接続して操作するように設計されています。
BPG 402-SD ゲージの完全な仕様については、ダウンロードにあるデータシートと操作マニュアル.pdf を参照してください。
