Inficon PCG552 ピラニ静電容量ダイアフラムゲージ、ニッケルフィラメント、mBar、DN 16 ISO-KF フィッティング、2 つの設定ポイント、RS485 付き D-Sub 15 ピン、0.61 ~ 10.23 V 範囲。
Inficon 部品番号: 3PC2-001-2400。 Inficon PCG 552 複合ピラニ容量ダイヤフラム ゲージは、ピラニ技術とセラミック容量ダイヤフラム センサーを 1 つの製品に組み合わせたものです。このゲージにはニッケル フィラメントと、RS485 通信プロトコルを備えた D-sub 15 ピン HD コネクタが付いています。この Inficon ゲージには 2 つの設定点があり、5×10 -5 ~ 1500 mbar (3.8×10 -5 ~ 1125 Torr) の範囲で動作します。552 ゲージには真空ラインに接続するための KF-16 フランジが付いており、任意の位置に配置できるため、システム設計の柔軟性が高まります。
10 mbar から大気圧までの測定範囲では、静電容量ダイアフラム技術により、ガスの種類に依存せず、非常に正確で信頼性の高い圧力測定と、あらゆるガスでの安全な排気が実現します。
この PCG552 ピラニ静電容量ダイアフラム ゲージは、Inficon 真空ゲージ コントローラ モデル VCG401、402、403、またはその他の適切なコントローラで動作します。接続ケーブル (P104426、P104427) は別売りです。
完全な仕様と手順については、ダウンロード可能なファイルを参照してください。