Leybold IONIVAC ITR 90 ゲージキット TURBOLAB 80 ポンプシステム用、ISO63 インレットから KF25 へ

これらの ITR 90 ゲージ キット (Bayard-Alpert - 熱陰極イオン化 - センサー ゲージを備えた IONIVAC ITR 90 ピラニを使用) は、Leybold TURBOLAB 80 システムで動作するように設計されています。 Bayard Alpert 熱陰極イオン化測定システム (p < 2.0×10 ^-2 mbar の場合) およびピラニ測定システム (p > 5.5×10 ^-3 mbar の場合) を備えた Leybold IONIVAC ITR 90 ゲージの機能は、圧力範囲 750 Torr ～ 3.8x10 ^-10 Torr。 2.0× ^10-2 … 5.5× ^10-3 mbar の重複圧力範囲では、2 つの測定システムの混合信号が出力されます。熱陰極は、スイッチング閾値 2.4×10 ^-2 mbar 未満でのみピラニ測定システムによってオンにされます (フィラメントの焼損を防ぐため)。圧力が 3.2×10 ^-2 mbar を超えるとスイッチがオフになります。

ホットイオンコンビゲージ ITR 90 は、750 Torr ～ ^3.8x10-10 Torr ( ^5x10-10 … 1000 mbar) の圧力範囲での不燃性ガスおよび混合ガスの真空測定用に設計されており、KF25 真空フランジ継手が付属しています。 。このゲージは、TURBOLAB 80 または別の評価ユニットと接続して操作できます。

これはゲージキットのみであり、個々の部品またはシステムは別売りです。ゲージキットには、以下にリストされているすべての部品が含まれています。