Leybold TURBOVAC 90i ターボ真空ポンプ、ISO-K 63 吸込口、排気速度 90 l/s、空冷または水冷。これらの Leybold TURBOVAC 90i ターボ分子高真空ポンプは、最大 90 リットル/秒 (l/s) の排気速度を持ち、ISO-K 63 入口フランジと ISO KF-16 排気前部フランジを備えています。これらの i シリーズ ターボポンプは、最大 240 ワットの 24 VDC 入力電源を必要とし、コントローラが内蔵されています。すべての TURBOVAC i シリーズ ターボポンプには、RS485、USB、およびデジタル I/O インターフェースを備えたコンパクトな標準インターフェースが付属しており、3 つのステータス LED と、1 つのアクセサリ (エア クーラー、バルブ、リレー ボックスなど) を制御できる機能があります。必要なのは電源と起動/停止ロジックだけです。電源、強制空冷または水冷キット、およびオプションのリモート ユーザー インターフェースが利用可能です。この 90i ターボポンプの Leybold 部品番号は 810031V1000 です。
Leybold TURBOVAC 90i の仕様：- 入口フランジ：ISO-K 63
- 基本圧力：8 x 10⁻⁸ mbar (6 x 10⁻⁸ Torr)
- 動作速度：72000 RPM
- 勤務位置：いずれでも
- ポンプ速度：90 l/s
- 冷却方式：強制空冷または強制水冷
- 排気フランジ：KF-16
- 動作電圧：24VDC
- 最大出力：240ワット
- RS485、USB、デジタルI/Oを備えたコンパクトな標準インターフェース
- アクセサリポート1つ
- 推奨粗引きポンプ：TriVac D4B または ScrollVac SC7
CFフランジ付きのTURBOVAC 90iポンプは、真の超高真空（UHV）ポンプであり、到達圧力は
10⁻¹⁰ Torrの範囲に達します（オールメタルの吸気シールガスケットを使用し、真空チャンバーを完全に洗浄してベーキングした場合）。ISO-Kフランジ付きのLeybold TURBOVAC 90iターボポンプは、ゴム/エラストマーOリングシールの透過とアウトガスにより、到達圧力が
10⁻⁸ Torrの範囲に制限されます。これらのポンプの吸気フランジ（CFフランジのみ）は、ターボが水冷されている場合、100℃までベーキングできます。
ポンプへの電源供給は、機器の補助電源を使用するか、Leybold TURBO.CONTROL i または TURBO.POWER integra のいずれかをご購入いただくかを選択できます。TURBO.CONTROL i は、卓上またはラックマウント可能なリモートユーザーインターフェース/電源で、RS-485 を介して Leybold TURBOVAC i シリーズポンプと通信し、ターボポンプの完全な監視と制御を可能にします。TURBO.CONTROL i は、実験室や研究用途で最も人気のあるオプションです。TURBO.POWER integra はローカル電源のみで、通常はターボポンプの底部に取り付けられます。 Leybold TURBOVAC iシリーズポンプは、ポンプ下部にTURBO.POWER integra電源を搭載した、コンパクトで低コストの高真空ポンプソリューションです。走査型電子顕微鏡（SEM、TEM）や集束イオンビームシステム（FIB）など、多くの分析機器アプリケーションに組み込まれています。
最高の性能を発揮するように設計されたLeybold TURBOVAC iシリーズターボ分子真空ポンプは、最先端のローターとドラッグステージ設計を採用し、特に軽ガスに対して比類のない速度を実現します。幅広いインターフェースオプション、ハウジングとフランジ構成、およびアクセサリがこの製品ラインを完成させます。独自のオイルフリーハイブリッドベアリングシステムとメンテナンスフリーのボールベアリングにより、生産性が向上し、所有コストが削減されます。軽ガスの排気速度は、現在の基準製品よりも最大60%高く、圧縮値は前世代製品よりも約100倍高いため、小型の補助ポンプとの併用に特に適しています。お客様のメリット：真空システムの大幅な小型化、初期費用と運用コストの削減、設置面積のコンパクト化。
パフォーマンス：- 軽ガス向け業界トップクラスの排気速度（既存製品比最大60%向上）
- 最適なローター径により、最高のポンプ性能を実現
柔軟性：- 真空ポート設計の柔軟性
- 回転式前真空ポート
- オンボードターボコントローラー
- 電源と起動/停止ロジックのみが必要
- オプションのTURBO.CONTROL iリモートユーザーインターフェース
- コンパクトなデザインにオプションのTURBO.POWER統合機能を搭載
設置、操作、制御：- 高価なケーブル配線を不要にするため、24/48V DC駆動用電子機器を内蔵しています。
- 最も幅広い通信インターフェース：USB、RS485、およびリモート15ピンデジタルI/Oを標準オプションとして搭載
- 高効率モーター
- ベアリングの冷却を最適化し、ポンプの寿命を向上させるための設計上の断熱
- 革新的なシャフトサポートシステムにより振動を低減
- メンテナンスフリーの上部パッシブ磁気軸受
- オイルフリー、生涯潤滑、下部メカニカルセラミックボールベアリングは現場で交換可能
Leybold TURBOVAC iシリーズターボポンプは、プラグアンドプレイ方式を採用しています。柔軟な製品設計、統合された電子機器、そして幅広い通信インターフェースにより、設置、操作、制御が簡単かつ容易です。革新的なポンプ設計と、現在市場で入手可能なメンテナンスフリーボールベアリングを採用した独自のオイルフリーハイブリッドベアリングコンセプトにより、優れた信頼性を実現しています。革新的なシャフトサポートシステムは、振動、騒音、機械的ストレスを低減し、振動に敏感な用途への潜在的な悪影響を軽減します。熱絶縁と高効率モーターにより、ベアリングの冷却が最適化されています。また、ポンプには、ベアリングを有害なガスや粒子から保護するためのパージポートが装備されています。その結果、ポンプの稼働時間と寿命が大幅に向上し、生産性も向上します。さらに、所有コストも低く抑えられるため、真空システムはこれまで以上に効率的になります。
ターボポンプの代表的な用途は以下のとおりです。- 一般的なクリーンポンプ用途
- 走査型電子顕微鏡 - SEM
- ビームラインと高エネルギー物理学
- 質量分析法
- 電子顕微鏡
- 試料調製
- 研究開発
- 高エネルギー物理学
- 工業
- 半導体
- コーティング
- 表面科学機器
取扱説明書およびLeybold i-series TURBOVACの製品パンフレットは、ダウンロードページから入手できます。
