Leybold Thermovac TTR 91 N MEMS-ピラニ真空トランスデューサー NW16、3.75 x 10-5 Torr から大気圧、2 セットポイント PN: 21L1211100

Leybold Thermovac TTR 91 N マイクロピラニトランスデューサには、振動や衝撃による排気に強い MEMS ピラニ (マイクロエレクトロメカニカルシステム) センサーが搭載されています。91 N は、ポンプダウンサイクルを監視するために 3.75 x 10 ^-5 ～ 750 Torr を測定します。Thermovac トランスミッタは、プロセス制御を向上させるアナログ電圧出力とセットポイントリレー (特定のモデルのみ) を提供するアクティブセンサーです。対応モデルでは、内蔵リレーにより、プログラム可能な制御を必要とせずにトランスミッタで直接スイッチング機能を実行できます。Thermovac シリーズトランスミッタには、センサーの状態を示す LED リングが装備されています。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。