Leybold Thermovac TTR 91 RN MEMS-ピラニ真空トランスデューサー NW16、3.75 x 10 -5 Torr から大気圧。
TTR 91 RN Leybold 部品番号: 21L1011100、TTR 91 N、PN: 230035V02 の代替品。 Leybold Thermovac TTR 91 RN マイクロピラニトランスデューサには、振動や衝撃による排気に強い MEMS ピラニ (マイクロエレクトロメカニカルシステム) センサーが搭載されています。91 N は、ポンプダウンサイクルを監視するために 3.75 x 10 -5 ～ 750 Torr を測定します。Thermovac トランスミッタは、プロセス制御を向上させるためにアナログ電圧出力とセットポイントリレー (特定のモデルのみ) を提供するアクティブセンサーです。対応モデルでは、内蔵リレーにより、プログラム可能な制御を必要とせずにトランスミッタで直接スイッチング機能を実行できます。Thermovac シリーズトランスミッタには、センサーの状態を示す LED リングが装備されています。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。
