MKS 1179C 質量流量電子式絶対圧力コントローラー、50 sccm He 相当、15 ピン、Swagelok® 4 VCR®。
MKS Instrumentsの部品番号：1179C00151CR1BV。 MKS 1179C は、さまざまな用途でガスの流量を測定するように設計されたオールメタルのマスフローコントローラです。入力および出力接続は Swagelok® 4 VCR® です。MKS 1179C マスフローコントローラは、10 sccm から 20 slm までのフルスケールで利用可能で、0.1 sccm という低流量まで高速で再現性の高い流量計測を提供します。1179C は、現在市場で最も一般的なマスフローメータと直接形状適合機能で交換可能です。標準の 3 インチのフットプリントにより、1179C は既存のガスラインを変更することなく同じスペースに直接ドロップできます。電気コネクタは、業界標準のコネクタと同様のピン配置、信号、機能を備えた同じタイプ「D」コネクタです。1179C は、MKS または他のメーカーのマスフローコントローラ電源およびディスプレイ電子機器と互換性があります。
Swagelok®およびVCR®は、Swagelok社の登録商標です。Vac Goop™は、Swagelok社の商標です。Ideal Vacuum Productsは、Swagelok社の正規販売代理店ではありません。
