MKS汎用流量制御弁、500 sccm、4 VCR® M Swagelok®チューブ継手、バイトンシールMKS部品番号：148JA52CR1M
制御電流が供給されると、この汎用改良型ソレノイドバルブはガスの流量を調整します。MKSコントローラと適切な流量センサと併用すると、148Jバルブは正確かつ精密な圧力または流量を維持しながらガス流量を調整します。用途には、流量制御、上流または下流の圧力制御などがあります。このモデル148JA52CR1Mバルブは、窒素のフルスケール範囲が500標準立方センチメートル/分（sccm）、4つのVCR® Mチューブ継手、およびバイトンシールを備えています。バルブが閉じた状態での漏洩伝導率は<1x10 -5 scc/sec Heです。
Swagelok®およびVCR®は、Swagelok社の登録商標です。Vac Goop™は、Swagelok社の商標です。Ideal Vacuum Productsは、Swagelok社の正規販売代理店ではありません。
