MKS 626D 10 Torr バラトロン絶対容量マノメーター、真空圧力計センサー、VCR® 8 メス継手
MKS部品番号：626D11TBE MKS 626D非加熱式絶対圧力計Baratron®は、最新のアナログ式、容量ベースの高性能真空・圧力変換器です。入力電圧は±15VDCで、圧力に比例する0～10VDCの高レベルアナログ出力信号を出力します。このアナログ出力は、MKS PDR2000圧力コントローラ、MKS電源/表示装置、またはこれらの要件を満たすあらゆる機器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサのダイヤフラムと隣接する電極ディスク間の容量の変化を測定することによって検出されます。この容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサ内の放射状に張られたInconel®ダイヤフラムは、非常に高速な応答（多くの場合20ミリ秒未満）、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能（フルスケールの0.001%まで）、非常に高い耐腐食性、およびオペレーターの安全性を確保するための二重壁溶接構造を実現しています。センサー自体は、45 psia（3.1 bar）の圧力に繰り返しさらされても、恒久的な劣化やずれが生じないため、事実上あらゆるプロセスシステムで使用できます。MKS 626D Baratron静電容量式圧力計は、常温常圧で動作します。0.1～1000 Torrのフルスケール圧力/真空範囲に対応しており、多くの産業、電子機器、研究用途に適しています。
この出品は、15ピンDサブミニチュア信号コネクタ、10 Torrのフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR® 8メス真空フランジ接続を備え、MKS部品番号626D11TBEのMKSタイプ626D容量マノメーターです。
対応コントローラーとケーブル：
製品の特徴：
- 0～10VDC比例アナログ出力、15ピンD-subコネクタ付き
- ガスの種類や組成に依存しない、チャンバー内の全圧の直接測定
- 最先端のプロセス再現性を実現する長期的な出力安定性
- インコネル®とインコロイ®ニッケル合金製の基本センサーは、事実上あらゆる化学環境下で損傷を受けることなく動作します。
- 高い過圧制限により、システム障害発生時の信頼性が確保されます。
- 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するため、読み取り値のパーセントで指定されています。
