MKS 627H 0.05 Torr 加熱式 45 °C、絶対バラトロン容量圧力計、真空継手 VCR® 8 メス、精度 読み値の 0.15%、垂直校正。
MKS部品番号PN: 627HU5TBD1B。 627H Baratron® 静電容量マノメーターは、45℃まで加熱され、読み値の0.12%の精度を持ち、優れた長期安定性と再現性を実現する最新の温度制御電子回路を搭載しています。この静電容量マノメーターは、今日の低圧プロセスに対応するため、フルスケール範囲が20 mTorr (0.03 mbar)まで用意されています。定評のあるBaratron静電容量マノメーター技術に基づき、センサーの接液面は腐食性ガスに対する優れた耐性を持つInconel®製です。現代的なステンレス鋼製のパッケージは、クリーンルーム対応製品となっています。この製品は、以前の627A、627B、627D、および627F Baratron静電容量マノメーターと互換性があり、MKS電源、表示ユニット、圧力コントローラ、またはその他の互換性のある電源/読み出し装置と組み合わせて使用できます。
この出品は、MKS Type 627H 容量マノメーターです。45 °C に加熱され、ネジロック付きの 15 ピン D-sub ミニチュア信号コネクタ、0.05 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR® 8 メス真空フランジ接続、読み取り値の 0.15% の精度、垂直校正を備え、MKS 部品番号 627HU5TBD1B です。
対応コントローラーとケーブル：
製品の特徴：
- 優れた長期安定性
- 低圧域におけるより精密な出力信号のための読み取り精度（％）
- フルスケール範囲は20 mTorr (0.03 mbar)までと低く、低圧プロセスの精密測定に対応します。
- 全面インコネル製の耐腐食性接液面
- ウォームアップ時間の短縮
- 温度およびヒーター制御回路の視覚的および電気的状態
- 以前のBaratron製静電容量式圧力計、MKS製電源／読み出しモジュール、および圧力コントローラーと互換性があります。
- ガス組成に関係なく、全圧を直接測定します。
- 信頼性向上のための高い過圧定格
- クリーンルーム対応ステンレス製パッケージ
