MKS HPS® シリーズ 943 冷陰極真空計コントローラー、423 I-Mag® 冷陰極センサーまたは UHV 用 421 センサーに対応。MKS 部品番号: 943-120V60-TR-PC。注: 943 シリーズは MKS により製造中止となりました。在庫がなくなり次第、この製品は Ideal Vacuum Products により製造中止となり、この Web サイトでは購入できなくなります。推奨される代替品は、冷陰極センサー カード (P1012843) 付きの 946 シリーズ コントローラー (P1012840) です。MKS HPS® シリーズ 943 冷陰極真空計コントローラーは、OEM または産業用途向けのシリーズ 423 I-Mag® センサーおよび UHV 用 421 センサーに対応しています。シリーズ943冷陰極真空計コントローラは、使いやすさを重視し、10⁻¹⁰～10⁻² Torrの圧力範囲で高速かつ信頼性の高い圧力測定を実現するように設計されています。943冷陰極真空計は、高真空チャンバーの圧力測定や高真空システムの制御など、産業、プロセス、分析用途に最適です。応用分野としては、高エネルギー物理学、分析機器、レーザー製造、イオン注入、質量分析、PVDなどが挙げられます。943デジタルコントローラは、2つの標準独立リレー設定ポイントを備えており、ユーザーはプロセスを確実に制御できます。ディスプレイを見ながら、フロントパネルから設定ポイントを調整します。赤色LEDは設定ポイントの作動状態を示します。シリーズ943は、視認性の高いLEDディスプレイを使用して、10⁻¹⁰～10⁻² Torrの圧力を表示します。リモート圧力監視用に、2種類のアナログ出力が標準装備されています。内部コンバータにより、動作範囲全体で電圧から圧力への簡単な対数変換が可能な出力が得られます。背面パネルの15ピンアクセサリコネクタからは、応答速度の速いバッファ付きアナログ出力も提供されます。前面パネルの機能により、高電圧を無効にしたり、冷陰極が自動的にオフになる圧力を設定したりできます。これにより、圧力がセンサーの動作範囲を超えた場合にコントローラが誤った値を表示するのを防ぎます。このユニットは新品で、電源コード、アクセサリコネクタキット、および取扱説明書が付属しています。このユニット用の421センサーと423 I-Mag®センサー、および信号ケーブルは、このウェブサイトで別売りされています。詳細な仕様書と操作マニュアルは、下記からPDF形式でダウンロードできます。

MKS 冷陰極真空計信号ケーブルは、943 コントローラーを HPS 423 I-Mag® センサーに接続します (10 フィート (3m))。 MKS 部品番号: 100007873 これは、MKS 423 I-Mag® 冷陰極センサーの上部と MKS 943 冷陰極コントローラーの背面ポートに接続する、長さ 10 フィートの冷陰極真空計信号ケーブルです。これはケーブルのみで、他のすべての部品とアクセサリはオプションです。 423 I-Mag® センサーは、反転マグネトロン設計を採用しており、適切なコントローラーを使用すれば、従来のペニング冷陰極センサーよりもはるかに低い圧力、つまり 10 ～ 11 Torr の圧力で動作できます。この増加した圧力範囲により、HPS® 冷陰極センサーは UHV での使用に最適になります。 HPS® 冷陰極センサーのユニークな設計上の特徴は、イオン収集のための 2 番目のフィードスルーです。通常の単一フィードスルー設計では、アノードとグランドの間で電流が漏れると、圧力測定誤差が発生します。デュアルフィードスルー設計ではカソードからのイオン電流のみが測定値に寄与するため、プロセスモニタリングに最適です。フィラメントが切れないため、423 I-Mag® センサーは突然の空気の流入によって損傷することがなく、振動による損傷にも耐性があります。さらに、放出電流を調整したり、ゲージを脱気したりする必要がないため、圧力変化に対する応答時間が短縮されます。ベークアウトが必要な場合は、磁石とセンサー コネクタを取り外し、センサーを 400°C でベーキングできます。

MKS 冷陰極真空計信号ケーブルは、943 コントローラーを HPS 423 I-Mag® センサーに 50 フィート (15 メートル) 接続します。 MKS 部品番号: 100002395。これは、MKS 50 フィートの長さの冷陰極真空計信号ケーブルで、MKS 423 I-Mag® 冷陰極センサーの上部と MKS 943 冷陰極コントローラーの背面ポートに接続します。これはケーブルのみで、他のすべての部品とアクセサリはオプションです。 423 I-Mag® センサーは、反転マグネトロン設計を採用しており、適切なコントローラーを使用すれば、従来のペニング冷陰極センサーよりもはるかに低い圧力、つまり 10 ～ 11 Torr の圧力で動作できます。この増加した圧力範囲により、HPS® 冷陰極センサーは UHV での使用に最適になります。 HPS® 冷陰極センサーのユニークな設計上の特徴は、イオン収集のための 2 番目のフィードスルーです。通常の単一フィードスルー設計では、アノードとグランドの間で電流が漏れると、圧力測定誤差が発生します。デュアルフィードスルー設計ではカソードからのイオン電流のみが測定値に寄与するため、プロセスモニタリングに最適です。フィラメントが切れないため、423 I-Mag® センサーは突然の空気の流入によって損傷することがなく、振動による損傷にも耐性があります。さらに、放出電流を調整したり、ゲージを脱気したりする必要がないため、圧力変化に対する応答時間が短縮されます。ベークアウトが必要な場合は、磁石とセンサー コネクタを取り外し、センサーを 400°C でベーキングできます。

MKS HPS® 423 I-Mag® センサー冷陰極真空ゲージ KF25、NW25、MKS 943 冷陰極真空コントローラーと互換性があります。 MKS 部品番号: 104230004 反転マグネトロン設計を使用する 423 I-Mag® センサーは、適切なコントローラーを使用すると、従来のペニング冷陰極センサーよりもはるかに低い圧力、つまり 10 ～ 11 Torr の圧力で動作できます。この増加した圧力範囲により、HPS® 冷陰極センサーは UHV での使用に最適になります。 HPS® 冷陰極センサーのユニークな設計上の特徴は、イオン収集のための 2 番目のフィードスルーです。通常の単一フィードスルー設計では、アノードとグランドの間で電流が漏れると、圧力測定誤差が発生します。デュアルフィードスルー設計ではカソードからのイオン電流のみが測定値に寄与するため、プロセスモニタリングに最適です。フィラメントが切れないため、423 I-Mag® センサーは突然の空気の流入によって損傷することがなく、振動による損傷にも耐性があります。さらに、放出電流を調整したり、ゲージを脱気したりする必要がないため、圧力変化に対する応答時間が短縮されます。ベークアウトが必要な場合は、磁石とセンサー コネクタを取り外し、センサーを 400°C でベーキングできます。これは冷陰極センサーのみです。このユニット用の MKS 信号ケーブルと MKS 943 コントローラーはこの Web サイトで別売りです。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。

MKS HPS 423 I-Mag センサー冷陰極真空計 Conflat 2.75 インレット。 MKS 部品番号: 104230002 (MKS 943 冷陰極真空コントローラーと互換性あり) 反転マグネトロン設計を使用する 423 I-Mag センサーは、従来のペニング冷陰極センサーよりもはるかに低い圧力、つまり 10 ～ 11 Torr の圧力で動作できます。適切なコントローラー。この増加した圧力範囲により、HPS 冷陰極センサーは UHV での使用に最適になります。 HPS 冷陰極センサーのユニークな設計上の特徴は、イオン収集のための 2 番目のフィードスルーです。通常の単一フィードスルー設計では、アノードとグランドの間で電流が漏れると、圧力測定誤差が発生します。デュアルフィードスルー設計ではカソードからのイオン電流のみが測定値に寄与するため、プロセスモニタリングに最適です。フィラメントが切れないため、423 I-Mag センサーは突然の空気の流入によって損傷することがなく、振動による損傷にも耐性があります。さらに、放出電流を調整したり、ゲージを脱気したりする必要がないため、圧力変化に対する応答時間が短縮されます。ベークアウトが必要な場合は、磁石とセンサー コネクタを取り外し、センサーを 400°C でベーキングできます。これは新品の冷陰極センサーです。このウェブサイトでは、このユニットの MKS 信号ケーブルと MKS 943 コントローラーのみが別売りです。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。