MKS GM50A マスフローコントローラー (MFC) アナログ制御、範囲 0.4 ～ 20 sccm、15 ピン D サブミニチュア、4 VCR® オス。
MKS部品番号：GM50A013201RMM020。このMKS GM50Aマスフローコントローラは、窒素ガスまたは同等ガス用に校正されており、制御範囲は0.4～20 sccmです。15ピンDサブミニチュアアナログコネクタ（接地付き）を備え、0～5VDCの流量入出力信号に対応しています。ガス入口および出口継手はSwagelok® 4 VCR®オス型です。バルブシールは通常閉状態で、テフロン™製です。標準的な応答時間は約500ミリ秒です。
Swagelok®、VCR-TM Swagelok®社
テフロン™ ケマーズ社 FC, LLC. Swagelok®およびVCR®は、Swagelok社の登録商標です。Vac Goop™は、Swagelok社の商標です。Ideal Vacuum Productsは、Swagelok社の正規販売代理店ではありません。
