MKS Granville Phillips 274 ヌード Bayard-Alpert イオン ゲージ、2.75 インチ CF フランジ、デュアル タングステン。
MKS グランビル フィリップス 部品番号: 274022 MKS Granville Phillips 274 Nude Bayard-Alpert イオン化ゲージは、広範囲の動作圧力能力、デュアル タングステン フィラメント、電子衝撃脱ガス、2.75 CF フランジ、1×10 -3 ～ 2×10 -11トール圧力を備えた頑丈なオープン ゲージです。範囲、最大ベークアウト温度: 450 °C。
MKS Granville Phillips 274 イオン化ゲージは、2x10 -11 Torr の X 線制限を備えており、1 mTorr から 2x10 -10 Torr までの信頼性の高い圧力測定を提供しますが、2x10 -10 Torr より低い圧力では性能が低下します。 MKS Granville Phillips 274 は、X 線の限界を 5x10 -12 Torr に下げる非常に薄いコレクタを使用しています。その結果、1m Torr から 5x10 -11 Torr までの圧力を測定できますが、5x10 -11 Torr より低い圧力では性能が低下します。
グリッド構造が真空チャンバー内に突き出ている適切に取り付けられたヌード ゲージでは、局所真空圧力がチャンバー圧力と同じであるという点で誤差が最も低くなります。 MKS Granville Phillips ゲージは、Varian の Agilent XGS-600 ゲージ コントローラと簡単に接続でき、さまざまな真空システムに統合したり、スタンドアロンの圧力測定ツールとして使用したりできます。
通常、次のもので動作します。- MKS グランビル フィリップス モデル: 260、270、280、303、306、307、330、340、350 など。
- MKS インスツルメンツ モデル: 290、919、929
- パーキン エルマー モデル: DGC3
- Varian Agilent モデル: 831、836、842、844、845、880、971-0003、971-0014、971-1008、マルチゲージ、Varian 571 チューブ K2471301、XGS-600
- Veeco モデル: RG2、RG3、RG21、RG31、RG81、RG83、RG84、RG830、RG840、RG1000、RG1002
