MKS Granville Phillips 274 ヌード Bayard-Alpert イオン化式圧力計、KF40 NW40 フランジ、コネクタロックリング付きピンガード、電子衝撃脱ガスまたは抵抗加熱脱ガス(コントローラによる)。
MKSグランビル・フィリップス部品番号:274053 MKS社による製造中止品です。代替品はありません。
MKS Graville Phillips 274 ヌード Bayard-Alpert イオン化圧力計は、広範囲の動作圧力に対応する堅牢なオープン型圧力計で、トリウムコーティングされたイリジウムフィラメント、KF40 NW40、1×10 -3 ~ 2×10 -11 Torr の圧力範囲、最大ベークアウト温度:450 °C を備えています。
Granville Phillips 274 電離圧力計は、X線限界が 2x10 -11 Torr で、1 mTorr から 2x10 -10 Torr までの圧力を確実に測定できますが、2x10 -10 Torr 未満の圧力では性能が低下します。Granville Phillips 274 は、非常に薄いコレクターを使用することで、X線限界を 5x10 -12 Torr まで下げています。その結果、1 m Torr から 5x10 -11 Torr までの圧力を測定できますが、5x10 -11 Torr 未満の圧力では性能が低下します。
グリッド構造が真空チャンバー内に突き出るように適切に取り付けられたヌードゲージは、局所真空圧とチャンバー圧力が一致するという点で、最も誤差が小さくなります。グランビル・フィリップスゲージは、バリアン社のAgilent XGS-600ゲージコントローラと容易に接続でき、様々な真空システムに組み込んだり、スタンドアロンの圧力測定ツールとして使用したりできます。
通常、以下の製品と連携します。- MKS Granville Phillips モデル: 260、270、280、303、306、307、330、340、350、その他。
- MKS Instruments モデル: 290、919、929
- パーキンエルマー モデル: DGC3
- Varian Agilent モデル: 831、836、842、844、845、880、971-0003、971-0014、971-1008、マルチゲージ、Varian 571 チューブ K2471301、XGS-600
- Veecoモデル:RG2、RG3、RG21、RG31、RG81、RG83、RG84、RG830、RG840、RG1000、RG1002