MKS Granville Phillips 275 Convectron ゲージ真空圧力測定センサー、Conflat 2.75インチ
MKSグランビル・フィリップス部品番号:275238 MKS Granville Phillips 275 コンベクトロン圧力測定ゲージチューブセンサーは、業界標準の対流強化型ピラニゲージです。MKS Granville Phillips 275は、大気圧から1× 10⁻⁴ Torrまでの真空圧力を測定し、粗圧測定や前線圧力測定に最適です。熱電対式ゲージのように秒単位ではなく、ミリ秒単位で信頼性の高い高速応答測定を実現します。MKS Granville Phillips 275 コンベクトロン真空ゲージセンサーの高い精度と再現性により、プロセスが毎回所望の圧力で開始されることが保証されます。ただし、測定対象ガスの化学組成に敏感であり、相対圧力測定法と呼ばれます。つまり、ガス媒体の熱伝導率特性から間接的に圧力を決定します。(写真に示されているMKS Granville Phillips 375 コンベクトロンコントローラーは入手可能ですが、定価には含まれていません。)