MKS Granville Phillips 307 真空ゲージ コントローラー用リモート コントロール入出力モジュール。 PN: 307012

これはリモート入出力モジュールであり、イオン ゲージ (IG) ステータス出力、リモート フィラメント オン/オフ、ガス抜きオン/オフ、フロント パネル ロックアウト機能、および障害またはガス抜きステータス表示リレーを提供します。このユーザーがインストールするモジュールのインストールについては、以下の 307 真空コントローラー取扱説明書.pdf の 19 ページを参照し、ユーザー手順については 27 ～ 29 ページを参照してください。これはリモート入出力モジュールのみであり、MKS Granville Phillips 307 コントローラー、ケーブル、およびアクセサリはこの Web サイトでは別売りです。 MKS Granville Phillips 307 真空ゲージ コントローラー取扱説明書.pdf は、以下のダウンロードからダウンロードできます。