MKS Granville Phillips 350 MKS Granville Phillips 350 コントローラ用 2 チャンネル プロセス コントロール インターフェイス モジュール (1 ライン デジタル ディスプレイを備えた MKS Granville Phillips シリーズ 350 コントローラへの現場設置用)。
MKS グランビル フィリップス 部品番号: 350002これは、1 行デジタル ディスプレイを備えた MKS Granville Phillips 350 コントローラーに現場で設置するための 2 チャンネル プロセス制御インターフェイス モジュールで、イオン ゲージ用の 2 つのセットポイント リレーを備えています。プロセス制御モジュールは、2 つのデジタル設定値または内蔵の手動オーバーライド スイッチによって制御できる単極双投リレーを備えたコントローラーを提供します。プロセス制御モジュールの使用方法については、.pdf マニュアルの第 4 章、41 ページを参照してください。これはプロセス コントロール インターフェイス カード モジュールのみであり、MKS Granville Phillips 350 コントローラー、ケーブル、およびアクセサリはこの Web サイトでは別売りです。 MKS Granville Phillips 350 真空ゲージ コントローラー取扱説明書は、以下のダウンロードからダウンロードできます。
