MKS Granville Phillips プロセス制御モジュール、GP 370 真空ゲージ コントローラー用の 6 設定ポイント。 PN: 370107

これは MKS Granville Phillips プロセス制御モジュールで、(6 つのデジタル設定値) または内蔵の手動オーバーライド スイッチによって制御できる単極双投リレーを備えた 370 真空ゲージ コントローラーを提供します。このプロセス制御モジュールには、ユーザーが選択できる 6 つのチャネルがあります。最初の 2 チャネルはイオン ゲージに割り当てられます。存在する場合、チャネル 3 と 4 は CGA または TCA に割り当てられます。 5 と 6 は CGB、TCB、または CMB に割り当てられます。

チャンネル 1 を IG1、IG2、またはその両方に割り当てるスイッチが用意されています。 6 つのチャネルはすべて、設定値を上回るか下回るかを選択できる極性を備えています。プロセス コントロール カード (モジュール) の取り付け手順については、取扱説明書.pdf の 16 ～ 27 ページを参照してください。仕様や使用方法については取扱説明書の第5章をご覧ください。これはプロセス コントロール カード モジュール (6 つのセットポイント付き) のみであり、MKS Granville Phillips 370 コントローラー、ケーブル、およびアクセサリはこの Web サイトでは別売りです。 MKS Granville Phillips 370 真空計コントローラーの取扱説明書 (PDF 形式) は以下からダウンロードできます。