MKS HPS 901P Plus マイクロピラニ ピエゾロードロック真空トランスデューサー NW25、10-5～1000 Torr

MKS HPS®シリーズ 901P Plusトランスデューサは、ポンプダウンサイクルの監視用に1x10 ^-5 ～ 1,000 Torrの圧力を測定できる複合センサー出力を備えています。この独自の特許取得済みトランスデューサはロードロック環境向けに特別に設計されており、901 Plus (901P) は最大3つのセンサーを1つのコンパクトなパッケージに統合できます。901Pは、MicroPirani™とピエゾセンサー技術を統合することで、圧力測定と気圧切り替えの両方の機能を提供します。差動センサーは、変化する気圧条件下でも正確な気圧検知を保証し、ロードロックの最適な性能を実現します。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、このウェブサイトで販売されているPDR900シリーズコントローラーと組み合わせて901Pをご使用いただけます。詳細な仕様と操作方法については、以下のダウンロードをご覧ください。