新製品 MKS HPS®シリーズ 910 DualTrans™ マイクロピラニ絶対圧電トランスデューサー、KF25、RS485、ディスプレイ付き、リレーなし
MKS 910-21024 DualTrans™ MicroPirani™/Absolute Piezo 真空トランスデューサは、広範囲の圧力測定アプリケーション向けに特別に設計されており、NW25 ISO-KF フランジ継手を備えています。この組み合わせ出力により、従来の熱伝導ゲージよりも大幅に高い精度、安定性、再現性、および高速応答時間を実現します。910 は、2 つの圧力測定技術を組み合わせることで、優れた性能と機能を提供します。910 は、11 ～ 1500 Torr のガス非依存絶対圧力測定を熱伝導センサーよりも高い精度で提供します。従来の Pirani ゲージとは異なり、MicroPirani のセンサー素子は 1 ミリメートル四方のシリコンチップで構成されているため、非常に小さな体積で測定を行うことができます。MicroPirani 技術により、910 は標準的な Pirani センサーよりも 2 桁低い 10 -5 Torr までの圧力を読み取ることができます。センサー設計により対流の影響が最小限に抑えられているため、910 は精度を損なうことなくどの方向にも取り付けることができます。
ピエゾは絶対圧センサーであり、圧力を直接読み取ることができるため、測定はガスに依存しません。ピエゾセンサーは1 Torr未満から1500 Torrまで測定します。910には、トランスデューサパラメータの設定とリアルタイム圧力測定のためのRS232デジタル通信インターフェースがあります。910には、圧力の読み取りまたは制御のために外部アナログ機器と接続できる1VDC/decadeのアナログ圧力出力もあります。その他のアナログ出力と曲線は、デジタルユーザーインターフェースを介して選択できます。910には、プロセス制御に使用できる3つのメカニカルリレーがあり、たとえば、遮断弁と真空ポンプのインターロックに使用できます。各設定ポイントは、ピエゾ測定またはMicroPirani/ピエゾの複合絶対測定のいずれかに割り当てることができます。910のコンパクトな設計により、真空計が占めるスペースが大幅に削減されます。これは、システム設計者にとって特に魅力的であり、よりコンパクトな真空システムを実現できます。注：詳細な仕様については、ダウンロードの横にある.pdfを参照してください。
