Pfeiffer CMR 362 セラミック容量式ダイヤフラム圧力計、KF16フランジ、100 hPa (100 mBar/75 Torr) フルスケールPfeiffer CMR 362静電容量式ダイヤフラム圧力計（KF-16フランジ付き）は、フルスケール測定範囲が100 hPa（100 mBar/75 Torr）、最小測定範囲が10⁻² mbar（7.5 mTorr）です。応答時間は30ms、精度は測定値の0.2%です。セラミック酸化アルミニウム静電容量センサ素子を使用して、ガスの種類や組成に関係なく、ガスの絶対圧力を測定します。ルックアップテーブルやガス変換計算は不要です。
Pfeiffer CMR 361、362、363、364、365セラミック容量式ダイヤフラムゲージは、TPG 361、362、366 Pfeifferゲージコントローラと互換性があり、センサーケーブルが必要です。センサーケーブルは、このウェブサイトで3メートルから10メートルまでの長さで販売されています。コントローラとケーブルは別売りです。
操作手順と技術データは下記およびダウンロードページに記載されています。
